[发明专利]一种用线性真空计测量真空容器容积比的装置及方法有效
| 申请号: | 200910259326.5 | 申请日: | 2009-12-17 |
| 公开(公告)号: | CN101709987A | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
| 发明(设计)人: | 李得天;徐婕;张涤新;冯焱;郭美如;魏万印 | 申请(专利权)人: | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号: | G01F17/00 | 分类号: | G01F17/00 |
| 代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 张利萍 |
| 地址: | 730000*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 线性 真空计 测量 真空 容器 容积 装置 方法 | ||
1.一种用线性真空计测量真空容器容积比的装置,其特征在于:该装置包括稳压室(1),真空阀门A(2)、真空容器A(3)、真空阀门B(4)、真空容器B(5)、线性真空计(6)、真空阀门C(7)、气瓶(8)、真空阀门D(9)和真空泵(10);其连接关系为:气瓶(8)与稳压室(1)通过真空阀门C(7)连接,稳压室(1)与真空容器A(3)通过真空阀门A(2)连接,真空容器A(3)和真空容器B(5)通过真空阀门B(4)连接,线性真空计(6)直接连接在真空容器B(5)上,真空泵(10)与真空容器B(5)通过真空阀门D(9)连接,通过真空泵(10)从真空容器B(5)中抽出气体。
2.一种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其特征在于:采用如权利要求1所述的一种用线性真空计测量真空容器容积比的装置,该方法具体步骤为:
1)打开真空泵(10),打开真空阀门A(2)、真空阀门B(4)、真空阀门D(9),用真空泵对容积为v的真空容器A(3)、容积为V的真空容器B(5)、稳压室(1)和连接管道抽真空,记录下线性真空计(6)的读数p′0;
2)关闭真空阀门A(2),通过真空阀门C(7)向稳压室(1)进气;
3)关闭真空阀门C(7),调节真空阀门A(2),使气体以恒定压力流入真空容器A(3)和真空容器B(5)内,当线性真空计(6)的读数不再变化时,记录下线性真空计(6) 的读数p0;
4)关闭真空阀门B(4),打开真空阀门D(9),真空容器B(5)抽成真空状态,记录下线性真空计(6)的读数p′1;
5)关闭真空阀门D(9),打开真空阀门B(4),使气体进入真空容器B(5)内,当线性真空计(6)的读数不再变化时,记录下线性真空计(6)的读数p1;
6)待测真空容器容积比就等于
3.根据权利要求2所述的一种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其特征在于:所述步骤1)中真空容器A(3)、真空容器B(5)、稳压室和连接管道中的真空度小于1×10-1Pa。
4.根据权利要求2所述的一种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其特征在于:所述步骤2)中稳压室容积能满足真空容器内压力测量过程中稳压室中压力变化小于0.01%。
5.根据权利要求2所述的一种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其特征在于:所述步骤1)中线性真空计(6)的读数p′0和所述步骤4)线性真空计(6)的读数p′1压力变化小于0.001%。
6.根据权利要求2所述的一种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其特征在于:所述步骤5)中真空容器容积比取多次测量的平均值。
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