[发明专利]检查装置和检查方法有效
申请号: | 200910258514.6 | 申请日: | 2009-12-11 |
公开(公告)号: | CN101769864A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
发明(设计)人: | 盐田道德 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G01N21/31 | 分类号: | G01N21/31 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 康建忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检查 装置 方法 | ||
1.一种用于利用太赫兹波对对象进行检查的检查装置,所述检 查装置包括:
照射单元,所述照射单元用于用太赫兹波照射所述对象;
检测单元,所述检测单元用于检测从所述对象获得的太赫兹波;
变换单元,所述变换单元用于对利用由所述检测单元检测到的所 述太赫兹波而获得的所述太赫兹波的时间波形执行小波变换;
选择单元,所述选择单元用于从所述小波变换中的第一展开系数 中选择预先存储的第二展开系数,并且所述第二展开系数包括在所述 第一展开系数中;以及
比较单元,所述比较单元将所述第二展开系数的第一值与由所述 选择单元选择的所述第二展开系数的第二值进行比较。
2.根据权利要求1所述的检查装置,其中
所述第二展开系数是利用具有特征谱部分的参照物获得的展开 系数,并且与所述特征谱部分相关,
所述检查装置包括确定单元,所述确定单元用于基于所述比较单 元所获得的结果,来确定所述对象是否是所述参照物。
3.一种用于利用太赫兹波对对象进行检查的检查方法,所述检 查方法包括:
用太赫兹波照射所述对象;
检测从所述对象获得的太赫兹波;
对利用在检测太赫兹波的步骤中检测到的所述太赫兹波而获得 的所述太赫兹波的时间波形,执行小波变换;
从所述小波变换中的第一展开系数中选择预先存储的第二展开 系数,并且所述第二展开系数包括在所述第一展开系数中;以及
将所述第二展开系数的第一值与在选择第二展开系数的步骤中 选择的所述第二展开系数的第二值进行比较。
4.根据权利要求3所述的检查方法,其中所述第二展开系数是 利用具有特征谱部分的参照物获得的展开系数,并且所述第二展开系 数与所述特征谱部分相关,
所述检查方法包括基于在比较第一值与第二值的步骤中获得的 结果,确定所述对象是否是所述参照物。
5.一种在利用太赫兹波对对象进行检查期间使用的提取方法, 所述提取方法用于从具有特征谱部分的参照物提取与所述特征谱部分 相关的展开系数,所述提取方法包括:
获得步骤,获得从所述参照物反射或者散射,或者透射过所述参 照物的太赫兹波的波形;
第一变换步骤,对在所述获得步骤中获得的太赫兹波时间波形执 行小波变换;
反变换步骤,对所述小波变换中的展开系数的一部分执行小波反 变换;
第二变换步骤,对在所述反变换步骤中获得的所述太赫兹波时间 波形执行傅立叶变换,其中
在改变所述展开系数的所述一部分的同时,重复执行所述反变换 步骤和所述第二变换步骤。
6.根据权利要求5所述的提取方法,其中
执行所述小波反变换包括:在指定所述展开系数的所述一部分时 设置阈值,
所述提取方法被设置为用零值替换大于或等于所设置的阈值或 者小于或等于所设置的阈值的所述展开系数的值。
7.一种在利用太赫兹波对对象进行检查期间使用的提取装置, 所述提取装置用于从具有特征谱部分的参照物提取与所述特征谱部分 相关的展开系数,所述提取装置包括:
用于获得从所述参照物反射或者散射,或者透射过所述参照物的 太赫兹波的波形的部件;
用于对由所述用于获得太赫兹波的波形的部件获得的太赫兹波 时间波形执行小波变换的部件;
用于对所述小波变换中的展开系数的一部分执行小波反变换的 部件;
用于对由所述用于执行小波反变换的部件获得的所述太赫兹波 时间波形执行傅立叶变换的部件,其中
在改变所述展开系数的一部分的同时,所述用于执行小波反变换 的部件和所述用于执行傅立叶变换的部件分别重复执行小波反变换和 傅立叶变换。
8.根据权利要求7所述的提取装置,其中
执行所述小波反变换包括:在指定所述展开系数的所述一部分时 设置阈值,
所述提取装置被设置为用零值替换大于或等于所设置的阈值或 者小于或等于所设置的阈值的所述展开系数的值。
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