[发明专利]氧化锌类靶有效
| 申请号： | 200910258492.3 | 申请日： | 2009-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN101914754A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 高桥诚一郎;森内诚治;宫下德彦;池田真 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化锌 | ||
【权利要求书】：
1.一种氧化锌类靶，其特征在于，具有氧化物烧结体，该氧化物烧结体以氧化锌为主要成分、含有钛(Ti)和镓(Ga)两种元素、两种元素的含量为钛1.1at％以上或镓4.5at％以上的范围。
2.如权利要求1所述的氧化锌靶，其特征在于，其中，镓含量y(at％)在以钛含量x(at％)表示的值(-2x+10.4)以下的范围，且在以钛含量x(at％)表示的值(-0.5x+1.1)以上的范围。
3.如权利要求1或2所述的氧化锌靶，其特征在于，其中，镓含量y(at％)在以钛含量x(at％)表示的值(-x+3.4)以下、(x-0.9)以下或(-2.3x+10.1)以上的范围。
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