[发明专利]一种用于引脚凸出的半导体器件的封装方法有效
| 申请号: | 200910253503.9 | 申请日: | 2009-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN102082100A | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
| 发明(设计)人: | 汪利民;石磊;赵良;叶峰 | 申请(专利权)人: | 万国半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60 |
| 代理公司: | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人: | 姜玉芳;徐雯琼 |
| 地址: | 美国加利福尼*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 引脚 凸出 半导体器件 封装 方法 | ||
1.一种用于引脚凸出的半导体器件的封装方法,其特征在于,具体包括以下步骤:
步骤1、在引线框架上进行贴片和配线;
所述的引线框架包含若干排列分布的引线框架单元,每个引线框架单元包含若干载片台和若干引脚;相邻引线框架单元之间横向通过引脚连接,纵向通过若干金属筋与引脚连接;
在每个引线框架单元上,将芯片贴附至载片台上,并用金属连接体连接所述的芯片和引脚;
步骤2、塑封:对引线框架进行塑封,将芯片、载片台和部分引脚均封装在塑封体内;
其中,以引线框架上的金属筋为分隔进行塑封,形成若干个塑封条,每个塑封条中包含依次排列的若干引线框架单元;
步骤3、切筋:切除相邻塑封条之间的金属筋,将各个引线框架单元的引脚之间的连接分割独立,并保留各个引脚外露凸出于塑封体的部分;
步骤4、切割:对塑封条进行横向切割,分割后形成若干独立的半导体器件。
2.如权利要求1所述的用于引脚凸出的半导体器件的封装方法,其特征在于,步骤1中,所述的金属连接体为金属线,或金属平板,或金属带。
3.如权利要求1所述的用于引脚凸出的半导体器件的封装方法,其特征在于,所述的引线框架单元的排列为:其引脚在塑封后位于塑封条两侧,且相邻引线框架单元的载片台之间无金属筋连接。
4.如权利要求1所述的用于引脚凸出的半导体器件的封装方法,其特征在于,在所述的步骤2和步骤3之间,还包含在各个塑封条两端通过铆钉固定塑封条的步骤;其中,该铆钉穿过开设在引线框架上的铆钉孔并固定连接塑封条和引线框架。
5.如权利要求1所述的用于引脚凸出的半导体器件的封装方法,其特征在于,步骤3中,所述的相邻塑封条之间包含有若干金属筋,在切筋步骤中,切除相邻塑封条之间的所有金属筋。
6.如权利要求1所述的用于引脚凸出的半导体器件的封装方法,其特征在于,步骤3中,所述的相邻塑封条之间包含有若干金属筋,在切筋步骤中,仅切除两边最靠近塑封条的金属筋,保留位于中间的金属筋。
7.如权利要求1所述的用于引脚凸出的半导体器件的封装方法,其特征在于,在步骤2之后进一步包括:将在所述塑封过程中形成在塑封条边缘的残留废料去除的步骤。
8.如权利要求1所述的用于引脚凸出的半导体器件的封装方法,其特征在于,在步骤2之后进一步包括:对引线框架的金属外露部分进行电镀,即对各个引线框架单元的外露引脚及金属筋电镀金属层的步骤。
9.如权利要求1所述的用于引脚凸出的半导体器件的封装方法,其特征在于,在步骤3之后进一步包括:在切除金属筋后的引线框架和塑封条的底面贴附一层固定膜的步骤。
10.如权利要求9所述的用于引脚凸出的半导体器件的封装方法,其特征在于,所述的贴附在引线框架和塑封条底面的膜是UV膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





