[发明专利]有机EL器件制造装置、成膜装置及其成膜方法、液晶显示基板制造、定位装置及定位方法

权利要求书

1.一种有机EL器件制造装置，在真空室内进行基板和荫罩的定位，并 具有将蒸发源内的蒸镀材料蒸镀在基板上的真空蒸镀室，其特征在于，

具有：将上述基板保持为立起的姿势的基板保持机构；把持上述荫罩的上 部保持部，将上述荫罩保持为下垂的姿势的荫罩下垂机构；对设置在上述基板 和荫罩上的定位标记进行摄像的定位光学机构；以上述下垂姿势的状态驱动上 述荫罩的上述上部保持部的定位驱动机构；以及，基于上述定位光学机构的结 果控制上述定位驱动机构的控制机构。

2.根据权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述荫罩下垂机构具有多个旋转支撑部，所述多个旋转支撑部可旋转地支 撑用于固定上述荫罩的上述上部保持部的定位基座，上述定位驱动机构具有驱 动上述多个旋转支撑部中至少一处的主动旋转支撑部的主动驱动机构，上述有 机EL器件制造装置还具有使上述主动旋转支撑部以外的其他旋转支撑部即从 动旋转支撑部跟随上述主动旋转支撑部的动作而动作的定位从动机构。

3.根据权利要求2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

在保持上述荫罩的定位基座的上部、两端侧设置两处上述主动旋转支撑 部。

4.根据权利要求3所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述定位驱动机构具有上述主动驱动机构和左右从动机构；

上述主动驱动机构具有对上述两处独立地沿上下方向进行驱动的上下驱 动机构、和对上述两处中的一处沿左右方向进行驱动的左右驱动机构；

上述左右从动机构使上述另一处跟随上述左右方向的动作而动作。

5.根据权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述定位驱动机构设置在上述真空室之外。

6.根据权利要求2～4任一项所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

将上述定位驱动机构设置在上述荫罩的上部侧，将上述定位从动机构设置 在上述荫罩的下部侧。

7.根据权利要求2～4任一项所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

将上述定位驱动机构和上述定位从动机构设置在上述荫罩的侧面部。

8.根据权利要求2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述旋转支撑部利用定位轴与上述定位驱动机构以及定位从动机构连接。

9.根据权利要求8所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述定位轴具有约束其相对于上下方向平行地移动的约束机构。

10.根据权利要求9所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述约束机构是设置在上述定位轴上的花键。

11.根据权利要求8所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述定位轴借助于真空密封机构和波纹管与上述旋转支撑部连接。

12.根据权利要求1～4任一项所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述基板保持机构具有将上述基板从水平状态立起的竖立机构。

13.根据权利要求12所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述控制机构使用上述竖立机构倾斜微小角度。

14.根据权利要求1～4任一项所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述基板保持机构具有在将上述基板立起的状态下使其与荫罩接近或密 合的机构。

15.根据权利要求2～4任一项所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述定位驱动机构以及定位从动机构设置在上述真空室之外。

16.根据权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述荫罩具有定位用的贯通孔；上述定位光学系统具有使光从上述贯通孔 的一端侧入射的光源、和对上述另一端进行摄像的摄像机构，上述控制机构基 于上述摄像机构的输出进行定位。