[发明专利]具有暗化光瞳的大孔径物镜

权利要求书

1.一种用于波长≤193nm的微光刻投影物镜，其包括：物面(10)； 像面(20)；第一局部镜体组(300.1)，至少具有第一镜体和 第二镜体；并且第二局部镜体组(200.1)，至少具有第三镜体 (1020)和第四镜体(1030)，其中所述投影物镜的过渡图像 (22)在所述第一局部镜体组(300.1)的第一镜体(1000) 和所述第二局部镜体组(200.1)的第四镜体(1030)之间的 光路中形成，其中所述第三镜体(1020)在从所述物面(10) 到所述像面(20)的光路中是倒数第二个镜体，并且所述第三 镜体是凹面镜，所述第四镜体是凹面镜，所述第一镜体、所述 第二镜体、所述第三镜体和所述第四镜体具有开口，所述第一 镜体具有第一镜体直径d₂，所述第四镜体(1030)具有第二 镜体直径d₁，所述过渡图像具有到所述第四镜体的第一表面 的第一距离z₁，光线射到所述第一表面上，以及具有到所述第 一镜体的表面的第二距离Z₂，光线射到第一镜体的表面上，并 且所述过渡图像的位置符合以下关系式：

d1d2≈z1z2.]]>

2.根据权利要求1所述的微光刻投影物镜，其中所述微光刻投影 物镜用于≤100nm的波长。

3.一种用于波长≤193nm的微光刻投影物镜，其包括：第一局部 镜体组(300.1)，至少具有第一镜体和第二镜体；并且第二局 部镜体组(200.1)，至少具有第三镜体(1020)和第四镜体 (1030)，其中所述第一镜体(1000)的镜表面和所述第四镜 体(1030)的镜表面形成双面镜，所述第三镜体和所述第四镜 体是凹面镜且具有开口。

4.根据权利要求3所述的微光刻投影物镜，其中所述微光刻投影 物镜用于≤100nm的波长。

5.根据权利要求3所述的微光刻投影物镜，其中，所述双面镜具 有开口。

6.根据权利要求4所述的微光刻投影物镜，其中，所述开口是通 孔。

7.根据权利要求6所述的微光刻投影物镜，其中，所述通孔是圆 锥形的。

8.根据权利要求5-7中任一项所述微光刻投影物镜，其中，所述 投影物镜的过渡图像(22)在所述第一局部镜体组(300.1) 的第一镜体(1000)和所述第二局部镜体组(200.1)的第四 镜体(1030)之间的光路中形成，其中，所述过渡图像(22) 形成于所述开口中或接近所述开口。

9.根据权利要求1-7中任一项所述微光刻投影物镜，还包括第三 局部镜体组，所述第三局部镜体组包括没有开口的六个镜体 (S1-S6)。

10.根据权利要求9所述微光刻投影物镜，其中，所述微光刻投影 物镜具有设置在所述第三局部镜体组的孔径光阑。

11.根据权利要求1-7中任一项所述微光刻投影物镜，其中，所述 微光刻投影物镜具有设置在所述第一局部镜体组的孔径光阑。

12.根据权利要求11所述微光刻投影物镜，其中，所述孔径光阑 设置在第三镜体上或接近第三镜体。