[发明专利]应变传感器

权利要求书

1.一种应变传感器，用于测量大于10％的应变值，其特征在于，所述传感器包括：

上PDMS基板，具有延伸穿过所述上PDMS基板的测量电极；

下PDMS基板，与所述上PDMS基板的下表面结合，且所述下PDMS基板的上表面具有布线图案部分；以及

导电液，容纳在所述布线图案部分内并与所述测量电极相接触。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述导电液为用作压阻式测量材料的室温离子液体，或者为至少包括镓和铟的共晶合金。

3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述传感器进一步包括由聚合物或弹性体制成的覆层。

4.根据权利要求3所述的传感器，其特征在于，所述覆层由PDMS制成。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述测量电极为掺杂碳纳米管的PDMS。

6.根据权利要求5所述的传感器，其特征在于，所述碳纳米管为多壁碳纳米管。

7.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述测量电极为漆包线或碳纤维。

8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述PDMS基板在经氧等离子体处理后彼此结合在一起。

9.一种用于测量大于10％的应变值的应变传感器的制造方法，其特征在于，所述方法包括：

将上PDMS基板与下PDMS基板结合起来；

通过上PDMS基板上的孔将导电液注入并使其容纳在下PDMS基板的布线图案部分中；以及

将测量电极装入上PDMS基板的孔里以使其与导电液相接触。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述导电液为室温离子液体。

11.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述孔用掺杂碳纳米管的PDMS进行密封，从而构成测量电极。

12.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，将漆包线或碳纤维插入孔中，从而构成测量电极。

13.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括穿透所述上PDMS基板打两个孔的初始步骤。

14.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括插入两根金属模具从而在上PDMS基板上形成孔的初始步骤，所述导电液通过这两个孔注入。

15.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括使用SU-8槽模在下PDMS基板上制作布线图案，从而形成用于容纳导电液的布线图案部分的初始步骤。

16.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括在将两块PDMS基板结合起来之前对PDMS基板进行氧等离子体处理的初始步骤。