[发明专利]常压介质阻挡型活性自由基清洗系统

权利要求书

1.一种新型的常压介质阻挡型活性自由基清洗系统，包括高压电极、介质阻挡层、接地电极、电源、移动机械手、加热装置以及进气和排气系统。该系统的特性在于高压电极由介质阻挡层包裹，在常压下即可在高压电极和接地电极的间隙中发生放电，产生等离子体，在一定压力的气流带动下，放电区所产生的高活性自由基由喷口喷射出来，在喷射到需要处理的物体表面时，去除物体表面的有机物质。本发明产生的活性自由基可用于硅片无损伤去胶和有机物清洗。

2.如权利1所述的常压介质阻挡型活性自由基清洗系统，其特性在于：高压电极是由一个介质阻挡层包覆，该高压电极是圆柱体形状或是扁平的形状，喷口的形状是圆环型或是扁口形状，该介质阻挡层为石英材料制成。

3.如权利1所述的常压介质阻挡型活性自由基清洗系统，其特性在于：地电极是由圆环型或是平板金属电极制成，该地电极是包覆在高压电极的外侧，该地电极与壳体连接并接地。

4.如权利1所述的常压介质阻挡型活性自由基清洗系统，其特性在于：与高压电极连接的电源为高频高压电源，电源的输出峰-峰电压值大于3000伏。

5.如权利1所述的常压介质阻挡型活性自由基清洗系统，其特性在于：在包覆高压电极的绝缘介质和接地电极之间设有一定的间隙，该间隙的尺度范围是0.5-5毫米。

6.如权利1所述的常压介质阻挡型活性自由基清洗系统，其特性在于：放电区所采用的气体是氩氧混合气体、也可以是氧气或是洁净的空气，气体的流量是大于5升/分钟。

7.如权利1所述的常压介质阻挡型活性自由基清洗系统，其特性在于：该自由基发生器系统由机械手控制可以实现四维的移动。

8.如权利1所述的常压介质阻挡型活性自由基清洗系统，其特性在于：该系统设有排气罩和排气管道，使剩余的自由基束流和与有机物反应后的产物排出。

9.如权利1所述的常压介质阻挡型活性自由基清洗系统，其特性在于：该硅片衬底下设有加热装置，在清洗时，硅片的温度可以被加热到200℃以内。