[发明专利]超低浓度气体传感器

权利要求书

1.一种用于检测超低浓度气体的传感器，其特征在于，包括：

气体过滤装置，携带被测气体的气样通过该气体过滤装置，减小气样 中对被测气体检测信号产生ppb量级或更大信号干扰的微粒与干扰气体；

恒流恒压装置，连接到气体过滤装置，对经过滤的气体的流速和压力 进行控制；

恒湿恒温装置，连接到恒流恒压装置，将湿度控制在对被测气体检测 信号产生恒定或可以通过零点校正消除其影响的范围内，并控制气体的温 度；

检测装置，置于所述恒湿恒温装置内，对气体进行检测，所述检测装 置包括一个或多个并联或串联的传感器，除用于检测所述被测气体的传感 器外，其他传感器用于校正无法通过所述气体过滤装置滤除的干扰气体的 影响；

取样缓冲装置，设置于微量取样泵之前，用于聚集气体；

其中，所述被测气体为一氧化氮，所述恒流恒压装置将气体的流速控 制为0.32-0.39L/s，所述恒湿恒温装置将湿度控制为50％-70％并将温度控 制为25°C。

2.如权利要求1所述的用于检测超低浓度气体的传感器，其特征在于，

所述气体过滤装置通过吸附降低对被测气体检测信号产生ppb量级或 更大信号干扰的干扰气体的浓度。

3.如权利要求2所述的用于检测超低浓度气体的传感器，其特征在于， 包括：

所述气体过滤装置采用下列的其中之一制作：具有吸附作用的活性炭、 活性氧化铝、高锰酸钾、分子筛、以及树脂纤维。

4.如权利要求1所述的用于检测超低浓度气体的传感器，其特征在于，

所述恒流恒压装置包括微量取样泵和恒流控制阀。

5.如权利要求1所述的用于检测超低浓度气体的传感器，其特征在于，

所述取样缓冲装置为取样气袋或者具有气动单向阀和弹簧的容器。

6.如权利要求1所述的用于检测超低浓度气体的传感器，其特征在于，

所述恒湿恒温装置包括由仅与水分子作用的恒湿材料制作的导管以及 填充在导管周围的，根据恒湿要求选定的调节气样湿度的介质，当气体通 过该导管时，其中的水分子将通过导管膜的渗透与介质建立一种可以控制 的湿度平衡从而实现恒湿。

7.如权利要求1所述的用于检测超低浓度气体的传感器，其特征在于，

所述恒湿恒温装置包括同时具有升温与降温作用的半导体恒温装置。