[发明专利]电机控制装置、方法、阻抗匹配器及等离子体处理设备

权利要求书

1.一种电机控制装置，用以根据电机转速而调节流经所述电机的电流，其特征在于，所述电机控制装置包括检测单元、控制单元和电流调节单元，其中

所述检测单元用于检测电机的转速，并将相应检测值发送至所述控制单元；

所述控制单元根据来自检测单元的检测值得出电机在当前转速时所对应的期望电流值，并向所述电流调节单元发送相关的电流调节指令；

所述电流调节单元根据所述电流调节指令作出相应的调节动作，以将流经所述电机的电流调节为期望电流值。

2.根据权利要求1所述的电机控制装置，其特征在于，所述控制单元内预先存储有电机转速和电流之间的对应关系，所述控制单元根据该对应关系以及来自所述检测单元的检测值来确定对应于电机当前转速的期望电流值。

3.根据权利要求2所述的电机控制装置，其特征在于，所述电机转速和电流之间的对应关系表示为电机转速和电流的对应关系曲线图，其中，所述电机转速值为连续变化的数值，每个转速值对应一个电流值。

4.根据权利要求2所述的电机控制装置，其特征在于，所述电机转速和电流的对应关系表示为电机转速和电流的对应关系表，其中，将电机转速范围设置为N个区间，每个区间对应一个期望电流值，N为正整数。

5.根据权利要求4所述的电机控制装置，其特征在于，所述控制单元收到来自检测单元的电机转速值后，通过在所述电机转速和电流的对应关系表中查找该转速值所属的区间，进而确定与电机当前转速相对应的期望电流值。

6.根据权利要求5所述的电机控制装置，其特征在于，所述电流调节单元包括可调电阻，通过改变所述可调电阻的阻值而将流经所述电机的电流调节为所期望的电流值。

7.根据权利要求5所述的电机控制装置，其特征在于，所述电流调节单元包括n个相互并联的子调节单元，其中，n为正整数且n≤N；每一个子调节单元均包括相互串联的可控开关和电阻，所述控制单元对各个可控开关的通/断进行控制，以改变电流调节单元的阻值，进而将流经所述电机的电流调节为所期望的电流值。

8.根据权利要求7所述的电机控制装置，其特征在于，还包括电机驱动芯片，所述电机驱动芯片具有一个参考电压端，所述电流调节单元设置于所述参考电压端和地之间。

9.根据权利要求8所述的电机控制装置，其特征在于，在所述参考电压端与电源端之间串接有可控开关和电阻，在所述参考电压端与地之间串接有可调电阻。

10.一种电机控制方法，用以根据电机转速而调节流经所述电机的电流，其特征在于，所述电机控制方法包括下述步骤

100)检测所述电机当前转速；

200)根据所述电机的当前转速而得出电机在当前转速时的期望电流值；

300)将流经电机的电流调整为与电机当前转速相对应的期望电流值。

11.根据权利要求10所述的电机控制方法，其特征在于，在步骤200之前还包括确定所述电机转速和电流的对应关系的步骤。

12.根据权利要求11所述的电机控制方法，其特征在于，步骤200具体包括，根据所述电机转速和电流的对应关系及步骤100所测得的电机转速值得出电机在当前转速时的期望电流值。

13.一种阻抗匹配器，包括传感器、控制器、电机和被所述电机驱动的可变阻抗，其特征在于，所述电机连接有权利要求1-9中任意一项所述的电机控制装置，用以根据所述电机的转速而调节流经所述电机的电流值。

14.一种等离子处理设备，包括射频发生器和工艺腔室，其特征在于，在所述射频发生器和工艺腔室之间设置有权利要求13所述的阻抗匹配器，用以对腔室阻抗进行匹配。