[发明专利]光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法

权利要求书

1.一种光纤侧圆柱面镀膜旋转装置，包括：

一平圆盘，该平圆盘的中心固定一中心轴；

一公转件，该公转件为一筒状，套置于平圆盘的中心轴上，该公转件靠近平圆盘的一端横置有多个水平支杆，所述水平支杆的端部枢接有自转件，该自转件与平圆盘的表面摩擦接触；

上述部件置于一镀膜室中，在镀膜室中还放置有坩锅，其中每个自转件与待镀光纤连接，当所述公转件转动时带动与平圆盘表面摩擦接触的自转件转动。

2.按权利要求1所述的光纤侧圆柱面镀膜旋转装置，其中所述平圆盘的表面粗糙度Ra为0.4μm-20μm。

3.按权利要求1所述的光纤侧圆柱面镀膜旋转装置，其中所述水平支杆的数量为4-10个。

4.按权利要求1所述的光纤侧圆柱面镀膜旋转装置，其中所述水平支杆和其端部枢接的自转件的长度选择应使自转件连接的待镀光纤位于平圆盘之外。

5.一种光纤侧圆柱面镀膜的方法，该方法是使用权利要求1所述的光纤侧圆柱面镀膜旋转装置，包括如下步骤：

步骤1：将待镀光纤与自转件连接；

步骤2：对镀膜室抽真空；

步骤3：启动公转件使之转动；

步骤4：该公转件的转动带动与平圆盘表面摩擦接触的自转件转动；

步骤5：开启镀膜室中的坩锅，使坩锅中的膜料蒸发，对待镀光纤进行镀膜。

6.按权利要求5所述的光纤侧圆柱面镀膜的方法，其中所述坩锅中的膜料为MgF₂或CaF₂的低折射率材料。

7.按权利要求5所述的光纤侧圆柱面镀膜的方法，其中所述对镀膜室抽真空，镀膜室的气压＜2×10^-3Pa。