[发明专利]一种阻抗调节装置和包含该装置的阻抗匹配系统有效
| 申请号： | 200910238279.6 | 申请日： | 2009-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101741337A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 韦刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H7/09 | 分类号： | H03H7/09 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阻抗 调节 装置 包含 阻抗匹配 系统 | ||
1.一种阻抗调节装置，用于对负载进行阻抗匹配，其特征在于，包括： 变压器和电容C1，所述变压器与电容C1和负载依次连接构成通路；
所述装置还包括：电感L1，所述变压器先与所述电感L1连接，再与电 容C1和负载依次连接构成通路，所述电容C1和负载与所述电感L1并联。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：电容C2，与所 述电感L1串联。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：电感L2，与所 述电容C1串联。
4.根据权利要求1至3任一所述的装置，其特征在于：所述电容和电 感的值可调或固定。
5.根据权利要求1至3任一所述的装置，其特征在于：所述变压器是 可调的隔离变压器或自耦变压器。
6.一种阻抗匹配系统，其特征在于，包括：中、低频电源、阻抗调节 装置和负载，其中，所述阻抗调节装置包括：
变压器和电容C1，所述变压器的输入端与中、低频电源相连，所述变 压器的输出端与电容C1和所述负载依次连接构成通路；
所述阻抗调节装置使得包括负载和阻抗调节装置在内的阻抗与所述电 源特性阻抗共轭匹配；所述阻抗调节装置还包括：电感L1，所述变压器的 输出端先与所述电感L1连接，然后再与电容C1和负载依次连接构成通路， 所述电容C1和负载与所述电感L1并联。
7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于：所述阻抗调节装置中的 电容和电感的值可调或固定。
8.根据权利要求6至7任一所述的系统，其特征在于：所述负载为等 离子体负载。
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