[发明专利]一种组合等离子体放电装置

权利要求书

1.一种组合等离子体放电装置，包括一个位于中间的平板之间的放电和两侧的滚轴之间的放电，其特征在于：该平板之间的放电是由安装在框架上的一个平板地电极和与该平板地电极有一定间隙的高压电极构成，在该平板地电极与高压电极之间设有一个或两个介质阻挡层，在该平板地电极的中部位置开设有进气孔；该滚轴之间的放电位于该平板放电的两侧，具有多组滚轴之间的放电组，该放电组之间设有绝缘介质并设有一定的间隔，在该两侧放电组的上方设有变频风机，在两侧设有薄膜材料进口和出口缝隙，多组电源分别与中间放电体和两侧的滚轴放电组连接。

2.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：该装置所采用的电源是一种高频高压电源，该电源的频率范围是1至30KHz，电压范围是5至15KV。

3.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：该平板地电极与高压电极之间具有一放电间隙，该放电间隙为2至5mm。

4.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：在该平板地电极的中部位置开设的进气孔，在平板电极的放电间隙中引入氩气以及其它反应气体。

5.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：该放电组之间设有绝缘介质，其中一组电极为地电极与大地连接，另一组电极为高压电极与高频电源的高压端连接。

6.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：该变频风机通过排气管道排除放电所生产的废气。

7.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：该装置在放电电极之间设有薄膜导向轴，薄膜材料能够通过该导向轴穿过等离子体放电区。

8.根据权利要求1所述的组合等离子体放电装置，其特征在于：该多组电源和多组放电体用壳体包覆，该壳体与大地连接。