[发明专利]薄膜片状基板的掩膜清洗烘干工艺无效
| 申请号： | 200910233138.5 | 申请日： | 2009-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102078866A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王毅;冯会军;刘冰芝;张军会;赵武彦;彭荣根;张明华 | 申请（专利权）人： | 昆山厚声电子工业有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/02;F26B7/00 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215301 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 片状 清洗 烘干 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜片状基板的掩膜清洗烘干工艺，其特征在于：按如下步骤进行：
a.滚刷：利用毛刷对基板掩膜层进行滚动刷洗；
b.二流体喷洗：气水均匀混合喷射到基板表面进行清洗；
c.纯水喷淋：水均匀喷射到基板表面进行清洗；
d.海绵吸水：基板两面同时被海绵滚轮滚压吸水；
e.风刀风干：通过热风形成风刀连续风干基板表面。
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