[发明专利]电感耦合等离子体光源的供气系统有效
| 申请号： | 200910232131.1 | 申请日： | 2009-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN101718699A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 刘召贵;张树龙;夏义峰 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 光源 供气 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种电感耦合等离子体光源的供气系统，包括气源、等离子气供气支路、 辅助气供气支路和载气供气支路，其特征在于：所述气源分别通过一质量 流量控制器与所述等离子气供气支路、辅助气供气支路、载气供气支路连 接，所述质量流量控制器包括一质量流量传感器和一电磁阀，所述质量流 量传感器的出气口与所述电磁阀的进气口连通，所述质量流量传感器的进 气口与出气口之间设有一层流分层件，所述质量流量传感器上还设有一毛 细管，所述毛细管的两个开口分别位于所述层流分层件的两侧，所述毛细 管上绕制有两组热敏电阻丝构成的测量电桥，所述测量电桥测得的流量信 号与预设的流量信号进行比较后经过以放大器与所述电磁阀的控制端连 接。
2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体光源的供气系统，其特征在于： 所述质量流量控制器与计算机连接。
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