[发明专利]基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法及其装置

权利要求书

1.基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法，首先把阳极与阴极芯模放置在电铸槽内，之后向电铸槽内加电铸液、阴阳极接通电源，当芯模上电铸层达到规定厚度之后断电，停止供液和电铸，取出芯模脱模去胶，其特征在于：电铸过程中，芯模外叠加有与阴阳极间电流方向垂直的磁场。

2.根据权利要求1所述的基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法，其特征在于：所述叠加于芯模的磁场为稳恒磁场或变化磁场。

3.根据权利要求1所述的基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法，其特征在于：向电铸槽内加电铸液的喷嘴出液速度不小于2mm/s。

4.根据权利要求1所述的基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法，其特征在于：阳极和芯模正对水平放置在电铸槽内，阳极在上，芯模在下。

5.根据权利要求4所述的基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法，其特征在于：阳极和芯模之间相距30～50mm。

6.根据权利要求4所述的基于磁场力驱动对流效应的微细电铸方法，其特征在于：电铸槽内电铸液的液面高过阳极3～5cm。

7.实施如权利要求1～6之一所述方法所需要的装置，包括电铸系统、电铸液温度控制系统和电铸液循环系统，其特征在于：电铸系统内的芯模外侧设有磁场发生器(5)。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于：所述磁场发生器(5)是永磁体或者超导磁体发生器或者脉冲强磁体发生器或者复合磁体发生器。