[发明专利]一种恒温拉晶炉

说明书

技术领域

本发明涉及一种电炉，具体地说是涉及用于半导体碲化铋结晶、拉晶过程中使用的恒温炉子。

背景技术

在半导体致冷器的生产过程中，晶棒需要在恒温的条件下制备，现有的炉子是这样的：用电炉丝绕制在炉腔周围，由于电阻丝闪烁，造成温度不稳定，而影响使用。

发明内容

本发明的目的就是针对上述缺点，提供一种温度稳定的拉晶炉。

本发明的技术方案是这样实现的：拉晶炉，包括拉晶炉本体和电阻丝，电阻丝靠近炉腔内部的壁，其特征是：炉腔内还具有一层不锈钢圈。

所述的不锈钢圈外部还具有小孔。

本发明的有益效果是：具有炉腔内部温度恒定，不会因为电阻丝的闪烁出现温度变化的缺点；另一方面，由于具有一个不锈钢圈，具有保护炉腔和电阻丝的的优点。

附图说明

图1是本发明环保型恒温拉晶炉的横切面结构示意图

其中；1、晶炉本体  2、电阻丝挂具本体  3、不锈钢圈4、小孔

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步的描述。

如图1所示，拉晶炉，包括拉晶炉本体1和电阻丝2，电阻丝2靠近炉腔内部的壁，其特征是：炉腔内还具有一层不锈钢圈3。这个不锈钢圈靠近炉腔的壁，电炉丝在不锈钢圈的外部。

作为一种技术方案，所述的不锈钢圈3外部还具有小孔4。

不锈钢圈具有平衡电炉丝的闪烁的这作用，也就保持了温度的恒定。

在炉腔内部具有碰撞、污染炉壁和炉腔的情况下，不锈钢圈还具有保护作用。