[发明专利]声光可调谐滤光器衍射效率测试系统及测试方法

权利要求书

1.一种声光可调谐滤光器AOTF衍射效率测试系统，它包括光源、中性密度滤光片(2)、光阑孔(3)、分束镜(4)、二维电动转台(5)、第一能量计探头(61)、第二能量计探头(62)，其特征在于：所述测试系统中的所述光源采用波长可调谐激光器(1)；所述的波长可调谐激光器(1)发出的激光光束依次通过中性密度滤光片(2)、光阑孔(3)后由分束镜(4)将入射光分成固定分束比的透射光和反射参考光，透射光垂直入射待测AOTF(71)，由AOTF驱动器(72)对AOTF(71)施加射频驱动，由第一能量计探头(61)接收透过AOTF(71)的光束能量，第二能量计探头(62)同步接收反射参考光束的能量，第二能量计探头(62)测出反射参考光束的激光能量用于补偿激光能量不稳定以及第一能量计探头(61)与第二能量计探头(62)响应不一致引起的测量误差。

2.根据权利要求1所述的一种声光可调谐滤光器AOTF衍射效率测试系统，其特征在于：所述的波长可调谐激光器(1)连续可调激光波长范围为210～2300nm，激光发散角小于0.5mrad，210～709nm波段光谱扫描间隔为0.1nm，710～2300nm波段光谱扫描间隔为1nm。

3.一种基于权利要求1所述系统的声光可调谐滤光器AOTF衍射效率测试方法，其特征在于包括以下步骤：

A.调整激光器波长，对AOTF(71)加一定射频驱动，通过第一能量计探头(61)测出测量光路上的衍射光能量E₁，同时通过第二能量计探头(62)测出参考光路上的反射光束能量E₂；

B.不加射频驱动下，通过第一能量计探头(61)测出测量光路上直接出射光能量E₁′，同时通过第二能量计探头(62)测出参考光路上的反射光束能量E₂′；

C.计算AOTF衍射效率，计算公式如下：

η=E1E2′E2E1′---(1).]]>