[发明专利]多重衍射光栅

权利要求书

1.一种多重衍射光栅，其通过将多个衍射光栅重叠而构成，所述衍射光栅中，衍射光栅的形成光栅的栅线的间隔、线宽和线高与二色以上的各种光的波长对应，其特征在于，通过以下(A)或(B)中的至少一种简化设计配置了所述栅线，

(A)在栅线的至少一部分与其它栅线重叠时，将重叠而成为一条的栅线的多个线宽和线高中的任一个以所述栅线及所述其他栅线的至少两个值为基础作为整体设定为一个值的简化设计；和

(B)在栅线与其它栅线的间隙达到一定距离以下时，用栅线材料填充该间隙的简化设计。

2.如权利要求1所述的多重衍射光栅，其中，进行所述简化设计(A)和(B)二者配置了栅线。

3.如权利要求1或2所述的多重衍射光栅，其中，所述简化设计(A)是设定具有以如下(1)或(2)的任一种方法确定的线宽和线高的栅线的简化设计：

(1)将重叠而成为一条的栅线的整体的线宽设定为线宽、将重叠前的多个衍射光栅的各个构成光栅的栅线的线高值中最大值以下且最小值以上的值设定为线高的方法；和

(2)将重叠而成为一条的栅线的整体的线宽设定为重叠前的多个衍射光栅的各个构成光栅的栅线的线宽值中最大值以下且最小值以上的值、将线高设定为重叠前的多个栅线的各线高的合计值的简化方法。

4.如权利要求3所述的多重衍射光栅，其中，重叠而成为一条的栅线中，一条栅线的全宽在其它栅线的全宽的整个范围内重叠时设定为具有由(2)确定的线宽和线高的一条栅线，一条栅线的线宽的仅一部分与其它栅线的线宽重叠时设定为具有由(1)确定的线宽和线高的一条栅线。

5.如权利要求3或4所述的多重衍射光栅，其中，所述线宽和线高的确定方法(1)的线高确定方法，是将重叠前的多个栅线各自的线高值的平均值设定为线高的方法。

6.如权利要求3或4所述的多重衍射光栅，其中，所述线宽和线高的确定方法(2)的线宽确定方法，是将重叠前的多个栅线各自的线宽值的平均值设定为线宽的方法。

7.如权利要求1或2所述的多重衍射光栅，其中，所述简化设计(B)中的一定距离为30nm。