[发明专利]固态成像器,其制造方法和照相机

权利要求书

1.一种固态成像器，包括：

光电转换区，用于把在光电转换区的受光面接收的光束光电转换 成信号电荷；和

把光束引导到受光面的波导路径，

所述波导路径包括多个波导部件，每个波导部件把入射在光入射 面的光束引导到光出射面，所述多个波导部件层叠在受光面上，多个 波导部件之中最接近受光面的第一波导部件的光出射面面对受光面， 并且面积小于多个波导部件中离受光面最远的第二波导部件的光入 射面；

其中每个波导部件分别由每个层间绝缘体围绕；

其中所述多个光电转换区被布置在基板的表面上，所述多个光电 转换区的受光面彼此隔开第一间距，

其中所述多个波导路径被布置在基板的表面上，多个波导路径的 第二波导部件的光入射面彼此隔开第二间距，第二间距小于第一间 距，并且在与受光面平行的平面中，第一波导部件的光出射面相对于 第二波导部件的光入射面被移动，以致第一波导部件的光出射面面对 受光面。

2.按照权利要求1所述的固态成像器，其中波导路径的多个波 导部件均沿垂直于受光面的方向延伸。

3.按照权利要求2所述的固态成像器，其中波导路径包含在沿 垂直于受光面的方向延伸的侧面上的台阶，其中所述多个波导部件具 有在平行于受光面的平面中位置不同的侧面，其中所述多个波导部件 被层叠，以致在波导路径的台阶处发射的光作为消逝光重新进入波导 路径。

4.按照权利要求3所述的固态成像器，其中波导路径的多个波 导部件被层叠，以致在平行于受光面的平面中，所述台阶的宽度小于 入射在波导路径上的光的波长。

5.按照权利要求2所述的固态成像器，其中相对于垂直于受光 面的方向，使波导路径的台阶逐渐减小。

6.按照权利要求1-5任意之一所述的固态成像器，其中波导路 径的第一波导部件具有面积小于光电转换区的受光面的光出射面。

7.按照权利要求6所述的固态成像器，其中多个光电转换区被 布置在基板的表面上，

其中分别针对多个光电转换区，在基板的表面上布置多个波导路 径。

8.按照权利要求7所述的固态成像器，还包含沿垂直于受光面 的方向排列、并且与波导路径的侧面隔开的多个配线，

其中所述多个配线包括对第一波导部件的侧面布置的第一配线 和对第二波导部件的侧面布置的第二配线，第一配线和第二配线被布 置在与受光面平行的平面中的不同位置。

9.按照权利要求8所述的固态成像器，还包含多个微透镜，用 于把入射光引导到波导路径，

其中在基板的表面上分别针对多个波导路径布置所述多个微透 镜。

10.按照权利要求7所述的固态成像器，还包含多个微透镜，用 于把入射光引导到波导路径，

其中在基板的表面上分别针对多个波导路径布置所述多个微透 镜，并使每个微透镜的光轴偏离相应受光面的中心，和

其中第一波导部件和第二波导部件在与受光面平行的平面中被 移动，以致使第一波导部件的光入射面对准微透镜的光出射面，并且 以致使第二波导部件的光出射面对准受光面。