[发明专利]氮化铝烧结体、其制造方法和使用其的静电卡盘

权利要求书

1.一种氮化铝烧结体的制造方法，其特征在于，包括：

(a)调制不含钐化合物的混合粉末的工序，该混合粉末含有氮化铝、相 对于氮化铝100重量份的2～10重量份的氧化铕、相对于氧化铕的摩尔比为 2～10的氧化铝和相对于氧化铝的摩尔比为0.05～1.2的氧化钛；

(b)使用所述混合粉末制作成形体的工序；

(c)烧成该成形体时，(1)在真空或惰性气氛下，在1900～1950℃进行 热压烧成，或(2)在真空或惰性气氛下，在1800～1890℃进行热压烧成后， 在1900～1920℃进行退火处理的工序。

2.根据权利要求1所述的氮化铝烧结体的制造方法，其中，所述工序(a) 中，调制所述混合粉末时，相对于100重量份的氮化铝，使用3～5重量份的 氧化铕。

3.由权利要求1或2所述的氮化铝烧结体的制造方法而制造的氮化铝烧 结体。

4.一种氮化铝烧结体，为由权利要求1或2所述的氮化铝烧结体的制造 方法而制造的氮化铝烧结体，其特征在于，

由这样的烧结体构成，即以氮化铝为主要成分，具有与EuAl₁₂O₁₉的峰相 一致的连续化的晶界相，同时具有与TiN的峰相一致的结晶相，不具有含Sm 的结晶相；并且，

500V/mm的室温体积电阻率为1×10⁸Ω·cm以上、1×10¹²Ω·cm以下，由室 温到300℃的体积电阻率的变化而求出的活化能(Ea)为0.3eV以上、0.5eV 以下。

5.使用权利要求3或4所述的氮化铝烧结体而制作的静电卡盘。