[发明专利]包括清洁单元的阵列测试装置无效
| 申请号： | 200910224088.4 | 申请日： | 2009-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101989396A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 朴廷喜 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G09G3/00 | 分类号： | G09G3/00;G01R31/00;G01R1/067;B08B5/02;B08B5/04;B08B15/04;B08B5/00;B08B7/02;B08B7/04;B08B7/00;B03C1/02 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;黄启行 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 包括 清洁 单元 阵列 测试 装置 | ||
1.一种阵列测试装置，包括：
探针组件，配置为将电压施加到形成在基板上的电极以测试所述电极中的缺陷，并且包括位于探针组件一侧上的清洁单元。
2.如权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件包括：探针棒，包括用于将电压施加到形成在所述基板上的电极的探针引脚；探针框架，联接到所述探针棒，使得探针棒能够相对所述基板在一个方向上移动，所述探针框架与所述清洁单元连接。
3.如权利要求1和2之一所述的阵列测试装置，其中，设置有多个可拆卸的清洁单元。
4.如权利要求2所述的阵列测试装置，其中，所述清洁单元在所述探针框架的长度方向上操作。
5.如权利要求1和2之一所述的阵列测试装置，其中，所述清洁单元包括将异物从所述基板脱除的脱落单元。
6.如权利要求1和2之一所述的阵列测试装置，其中，所述清洁单元包括用于吸收来自所述基板的表面或者包含在周围空气中的任何异物的吸引单元。
7.如权利要求6所述的阵列测试装置，其中，所述吸引单元包括垂直所述基板并向所述基板延伸的多个引脚。
8.如权利要求5所述的阵列测试装置，其中，所述清洁单元包括产生超声波的超声头部。
9.如权利要求8所述的阵列测试装置，其中，所述清洁单元包括被定位为相距所述超声头部的外围形成预定间隙使得空气可以通过该间隙的盖。
10.如权利要求1和2之一所述的阵列测试装置，其中，所述清洁单元包括磁性单元，用于将金属异物从所述基板的表面或者从周围空气中去除。
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