[发明专利]铜铟镓硒太阳能电池及其制作方法

权利要求书

1.一种铜铟镓硒太阳能电池，其特征在于，包括：

一基板；

一钼薄膜层，形成于该基板上方；

一合金金属薄膜层，经由一溅镀机连续式溅镀于该钼薄膜层上而形成；以及

一铜铟镓硒薄膜层，沉积于该合金金属层上方。

2.如权利要求1所述的铜铟镓硒太阳能电池，其特征在于，该基板为玻璃基板或可绕式金属基板。

3.如权利要求1所述的铜铟镓硒太阳能电池，其特征在于，该合金金属薄膜层为一钼铝合金金属层、一钼铜合金金属层、一钼铜铝合金金属层或一钼铜铝银合金金属层。

4.如权利要求3所述的铜铟镓硒太阳能电池，其特征在于，该钼铝合金金属层包括钼以及铝，而钼的合金比例为6～9以及铝的合金比率为1～2，该钼铝合金金属层厚度为01.～0.25um以及导电性为20～25×10⁶/mΩ。

5.如权利要求3所述的铜铟镓硒太阳能电池，其特征在于，该钼铜合金金属层包括钼以及铜，而钼的合金比例为5～8以及铝的合金比例为1～4，该钼铝合金金属层厚度为01.～0.25um以及导电性为30～35×10⁶/mΩ。

6.如权利要求3所述的铜铟镓硒太阳能电池，其特征在于，该钼铜铝合金金属层包括钼、铜以及铝，而钼的合金比例为5～7、铜的合金比例为3～5以及铝的合金比例为1～2，该钼铜铝合金金属层厚度为01.～0.25um以及导电性为35～40×10⁶/mΩ。

7.如权利要求3所述的铜铟镓硒太阳能电池，其特征在于，该钼铜铝银合金金属层包括钼、铜、铝以及银，而钼的合金比例为5～7、铜的合金比例为3～4、铝的合金比例为1～1.5以及银的合金比例为2～2.5，该钼铜铝银合金金属层厚度为01.～0.25um以及导电性为30～35×10⁶/mΩ。

8.一种铜铟镓硒太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括：

将含有一钼薄膜层的一基板放在一组滚轮上，该钼薄膜层是以溅镀方式在基板上形成；

驱动该组滚轮朝一方向移动，藉以使该组滚轮上的基板朝该方向移动；

利用位于该钼薄膜层上方的一溅镀机，在该钼薄膜层上进行一溅镀操作，形成一合金金属薄膜层；以及

在该合金金属薄膜层上，藉一薄膜形成方式以形成一CIGS薄膜层。

9.如权利要求8所述的铜铟镓硒太阳能电池的制作方法，其特征在于，该溅镀机具有多组靶材室，每一组靶材室包括多个靶材室，而所述靶材室的每一靶材室包含一靶材、一溅镀枪以及具有一溅镀喷头，该溅镀操作为调整该溅镀枪的功率用以调节该靶材的喷出量，藉以控制合金金属薄膜层的合金混合比例。

10.如权利要求9所述的铜铟镓硒太阳能电池的制作方法，其特征在于，该靶材为钼、铜、铝或银。

11.如权利要求8所述的铜铟镓硒太阳能电池的制作方法，其特征在于，该合金金属薄膜层包括钼以及铝，而钼的合金比例为6～9以及铝的合金比例为1～2，该合金金属薄膜层的导电性为20～25×10⁶/mΩ以及厚度为01.～0.25um。

12.如权利要求8所述的铜铟镓硒太阳能电池的制作方法，其特征在于，该合金金属薄膜层包括钼以及铜，而钼的合金比例为5～8以及铜的合金比例为1～4，该合金金属薄膜层的导电性为30～35×10⁶/mΩ以及厚度为01.～0.25um。

13.如权利要求8所述的铜铟镓硒太阳能电池的制作方法，其特征在于，该合金金属薄膜层包括钼、铜以及铝，而钼的合金比例为5～7、铜的合金比例为3～5以及铝的合金比例为1～2，该合金金属薄膜层的导电性为30～35×10⁶/mΩ以及厚度为01.～0.25um。

14.如权利要求8所述的铜铟镓硒太阳能电池的制作方法，其特征在于，该合金金属薄膜层包括钼、铜、铝以及银，而钼的合金比例为5～7、铜的合金比例为3～4、铝的合金比例为1～1.5以及银的合金比例为2～2.5，该合金金属薄膜层的导电性为35～40×10⁶/mΩ以及厚度为01.～0.25um。

15.如权利要求8所述的铜铟镓硒太阳能电池的制作方法，其特征在于，该薄膜形成方式为同步蒸镀法与硒化法。