[发明专利]以堆栈法制备硬膜的方法

权利要求书

1.一种以堆栈法制备硬膜的方法，该硬膜镀于一塑料工件上，以保护该塑料工件的外观，该方法包括：

于塑料工件上溅镀一第一预定厚度的硬质膜层；

于所述硬质膜层上镀一第二预定厚度的金属层或装饰层；及

于所述金属层或装饰层上溅镀一第三预定厚度的透明硬质膜层；

其中，所述第一预定厚度和所述第三预定厚度的总和大于0.1μm，所述第三预定厚度为0.05至0.2μm。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述硬质膜层的材料选自二氧化硅、氧化铝、氮化铝、氮化钛、二氧化钛、碳化钛、碳化钨、氮化硅或铬中的一种，所述第一预定厚度为0.05至0.2μm。

3.如权利要求1所述的方法，其中，于塑料工件上溅镀硬质膜层的步骤包括：

于所述塑料基材上溅镀一第四预定厚度的第一铬金属层；

于所述第一铬金属层上溅镀一第二金属层；

于所述第二金属层上溅镀一第五预定厚度的第二铬金属层；

其中，所述第四预定厚度和所述第五预定厚度的总和为0.5至0.8μm。

4.如权利要求1所述的方法，其中，所述金属层的材料选自铜、铬或铝中的一种，所述装饰层的材料选自金属氮化物或金属氧化物中的一种，所述第二预定厚度为0.05至0.5μm。

5.如权利要求1所述的方法，其中，所述透明硬质膜层的材料选自二氧化硅或二氧化钛中的一种，所述透明硬质膜层的透光率在80％以上，所述第三预定厚度为0.05至0.1μm。

6.一种以堆栈法制备硬膜的方法，该硬膜溅镀于一塑料工件上，以保护该塑料工件，该方法包括：

提供一溅镀设备，该溅镀设备包括一溅镀腔体，该溅镀腔体具有一第一溅镀室、一第二溅镀室、一第三溅镀室，分别用以溅镀硬质膜层、金属层或装饰层、透明硬质膜层，以及一转动传输装置，以利用旋转方式将所述塑料工件依序由第一溅镀室传送至第三溅镀室进行溅镀，三个溅镀室可提供至少三个工件同时进行上述不同膜层的溅镀；

设定所述转动传输装置每旋转一次停留一预定时间，以及设定所述溅镀室的溅镀条件；

传送所述塑料工件至溅镀腔体的所述转动传输装置上，在所述第一溅镀室对所述塑料工件溅镀硬质膜层至第一预定厚度，在所述第二溅镀室中于所述硬质膜层上溅镀一第二预定厚度的所述金属层或装饰层，以及在所述第三溅镀室内于所述金属层或装饰层上溅镀一第三预定厚度的所述透明硬质膜层，其中，所述第一预定厚度及第三预定厚度的总和大于0.1μm，所述第三预定厚度为0.05至0.2μm；及

溅镀完成后将所述塑料工件取出。

7.如权利要求6所述的方法，所述硬质膜层及所述透明硬质膜层的材料选自氧化物或氮化物中的一种，其中，所述透明硬质膜层的透光率在80％以上。

8.如权利要求6所述的方法，所述金属层的材料选自铜、铬或铝中的一种，所述装饰层的材料选自金属氮化物或金属氧化物中的一种，所述第二预定厚度为0.05至0.5μm。

9.如权利要求6所述的方法，所述第一预定厚度为0.05至0.2μm，所述硬膜的硬度大于1H。

10.如权利要求6所述的方法，其中，所述透明硬质膜层的材料为二氧化硅，且所述第三预定厚度为0.05至0.1μm。

11.如权利要求6所述的方法，所述溅镀腔体还包含一第四溅镀室，且所述溅镀腔体中至少有二个溅镀室用以共同溅镀相同膜层材料，以避免工艺瓶颈产生。