[发明专利]一种真空电弧镀制备Al-Si-Y高温防护涂层的方法无效
| 申请号： | 200910220781.4 | 申请日： | 2009-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN102094171A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 高淑春;胡金玲;杨升山 | 申请（专利权）人： | 沈阳天贺新材料开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;C23C14/02;C23C14/58 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 韩辉 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 电弧 制备 al si 高温 防护 涂层 方法 | ||
1.一种真空电弧镀制备Al-Si-Y高温防护涂层的方法，其特征在于有下列步骤：
(1)基材预处理：将基材经砂纸打磨后，分别在丙酮及无水乙醇中超声波清洗，吹干后备用；
(2)靶材制备：将成分为硅4.5-5.5％、钇1.0-2.0％、铝余量的合金制成阴极靶材；
(3)将待镀工件置于阴极与阳极之间；
(4)离子清理：参数如下：
真空度：P＜5.32×10-2Pa
电弧电流：400-600A
工作电压：200-300V
清理时间：2-6min。
(5)在阴极与阳极之间施加电场，使阴极合金涂层材料转化为等离子束流，并朝代镀工件表面定向加速运动，与工件表面相互作用后，产生表面凝聚，形成涂层，参数为：
真空度：P＜5.32×10-2Pa
电弧电流：400-600A
电弧电压：30-50V
沉积时间：1-3h。
(6)将沉积后工件真空退火，参数为：
真空度：P＜1.33×10-1Pa
温度：1000-1100℃
时间3-5h。
2.按照权利要求1所述的真空电弧镀制备Al-Si-Y高温防护涂层的方法，其特征在于涂层沉积前对工件表面进行离子清理。
3.按照权利要求1所述的真空电弧镀制备Al-Si-Y高温防护涂层的方法，其特征在于镀覆后对叶片进行真空扩散热处理。
4.按照权利要求1所述的真空电弧镀制备Al-Si-Y高温防护涂层的方法，其特征在于渗层深度为0.02～0.04mm。
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