[发明专利]一种镀膜工件高温蒸镀硬膜的镀膜支撑机构无效
| 申请号： | 200910218059.7 | 申请日： | 2009-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101928921A | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 冯晓国;朱华新;高劲松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 王立伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 工件 高温 蒸镀硬膜 支撑 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜工件高温蒸镀硬膜的镀膜支撑机构，其特征在于该镀膜支撑机构包括镀膜托盘(1)、挡块凹槽(2)、工件挡块(3)、锁紧螺钉(4)、钢球(5)及钢球嵌槽(6)；
各部件的位置及连接关系：镀膜托盘(1)中间有安放镀膜工件的开口，托盘四边有安装工件挡块的径向挡块凹槽(2)，工件挡块(3)在挡块凹槽(2)内移动，工件挡块(3)斜面上镶嵌钢球(5)，钢球(5)在钢球嵌槽(6)内滚动，工件挡块(3)用锁紧螺钉(4)固定在挡块凹槽(2)内，镀膜工件(7)边缘均有倒边，通过倒边支撑工件，镀膜工件(7)放在工件挡块(3)的斜面上并与钢球(5)均匀接触，然后将镀膜工件及整个装置一齐放入镀膜机圆环托盘中。
2.根据权利要求1所述的镀膜工件高温蒸镀硬膜的镀膜支撑机构，其特征在于所述镀膜托盘(1)的开口的形状和大小与镀膜工件(7)相匹配。
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