[发明专利]一种准直偏转光束波前测试仪及其测试方法

权利要求书

1.一种准直偏转光束波前测试仪，其特征在于该测试仪是由光束变向装置和剪切干涉光路组成，光束变向装置位于剪切干涉光路前的位置，光束变向装置由一个反射镜(1)和一个由计算机(C)控制的电动组合旋转平移台构成，电动组合旋转平移台由旋转台(A)固定在一个一维平移台(B)上构成，并与所述计算机(C)相连，反射镜(1)垂直固定在旋转台(A)上，其竖直方向的中心线与旋转台转轴的中心线重合，且其反射镜面与一维平移台(B)的移动方向成45°角，且变向后光束中心线与剪切干涉光路的光轴方向重合。

2.一种利用权利要求1的准直偏转光束波前测试仪测试准直偏转光束波前的方法，其特征在于包括以下步骤：

①用一束扩束准直后的激光作为参考平面波入射，从入光口入射到反射镜(1)的中心处，调节剪切干涉光路中的分束棱镜(7)，使之在水平方向转动一个微小的角度，能在剪切干涉光路中的面阵CCD相机(8)上观察到疏密合适的竖条纹，以此条纹作为测试的参考条纹图；

②待测光束也从上述的入光口射入，根据待测光束的偏转角度，在计算机(C)上输入组合台的旋转度和平移量，操作组合台的控制软件使得组合台按设定的参数动作，带动反射镜(1)旋转、平移，把光束的传播方向变为剪切干涉光路的光轴方向，用面阵CCD相机(8)采集得到的干涉条纹作为畸变条纹图；

③由参考条纹图中心处大小等于待测光束在垂直于传播方向上光束尺寸的区域和畸变条纹图，根据条纹处理算法计算出待测光束在入光口处的波前分布。