[发明专利]基于表面等离子体共振的数字全息显微成像方法及显微镜

权利要求书

1.基于表面等离子体共振的数字全息显微成像方法，其特征在于：

线偏振激光束经扩束准直后再经分束器分成两束，其中一束为参考光束， 另一束从棱镜的第一面入射到棱镜内部，并在该棱镜内部经设置有金属膜的棱 镜面反射后成为物光束，然后从第二面射出棱镜，被测样品置于镀有金属膜的 棱镜面，物光束和参考光束经合束器后进入摄像装置中，得到全息图，然后通 过数字全息重建算法，同时得到被测样品表面的强度分布图和位相分布图。

2.根据权利要求1所述的基于表面等离子体共振的数字全息显微成像方法， 其特征在于：所述线偏振激光束的偏振方向平行于镀有金属膜的棱镜面的入射 面。

3.根据权利要求1或2所述的基于表面等离子体共振的数字全息显微成像 方法，其特征在于：物光束和参考光束进入合束器之前均经过显微物镜进行放 大处理。

4.基于表面等离子体共振的数字全息显微镜，其特征在于包括线偏振激光 束产生装置、扩束准直器、分束器、一棱镜面设置有金属膜的棱镜、合束器以 及摄像装置；线偏振激光束产生装置产生的线偏振激光束经扩束准直器以及分 束器后分成两束，其中一束为参考光束，另一束从棱镜的第一面入射到棱镜内 部，并在该棱镜内部经设置有金属膜的棱镜面反射后成为物光束，然后从第二 面射出棱镜，物光束和参考光束经合束器后进入摄像装置中生成全息图。

5.根据权利要求4所述的显微镜，其特征在于还包括第一显微物镜和第二 显微物镜，物光束经第一显微物镜进入合束器，参考光束经第二显微物镜进入 合束器。

6.根据权利要求4或5所述的显微镜，其特征在于所述一棱镜面设置有金 属膜的棱镜，金属膜直接镀在棱镜面上。

7.根据权利要求4或5所述的显微镜，其特征在于所述一棱镜面设置有金 属膜的棱镜，金属膜镀在一薄玻璃片上，薄玻璃片通过折射率匹配液粘贴在棱 镜面上。

8.根据权利要求4或5所述的显微镜，其特征在于线偏振激光束产生装置 为内置起偏器的激光器。

9.根据权利要求4或5所述的显微镜，其特征在于所述线偏振激光束的偏 振方向平行于设置有金属膜的棱镜面的入射面。