[发明专利]对准标记的检测方法以及装置

权利要求书

1.一种对准标记的检测方法，是以突起或凹陷形成在工件上的工件·对 准标记的检测方法，其特征为，包含：

第1步骤，对实际的工件上形成的工件·对准标记进行显像，根据显像 的上述工件·对准标记的图像，将呈现方式不同的多个工件·对准标记图形、 该工件·对准标记图形的中心位置的位置座标事先作为登记图形登记在存储 部；

第2步骤，对工件上的图形进行显像；

第3步骤，逐一读取登记在上述存储部的多个上述登记图形，比较进 行了上述显像的工件上的图形和上述所读取了的登记图形，评估两者的一 致度；

第4步骤，采用进行了上述显像的工件上的图形，及获得最高一致度 的上述登记图形或者获得事先被设定的值以上的一致度的上述登记图形， 将与所采用的该登记图形的一致度高的显像图形作为工件·对准标记进行检 测；以及

第5步骤，根据所采用的上述登记图形的中心位置座标，确定上述显 像的工件上的图形的位置座标。