[发明专利]曝光装置

权利要求书

1.一种曝光装置，检测形成于光罩的光罩对准标记和形成于工件的工 件对准标记，进行对位以使两者成为预定的位置关系，结束对位之后，隔 着光罩将曝光光照射于工件，将形成于光罩的图案曝光于工件，

上述曝光装置具备：

对准平台部，该对准平台部具有对准平台、多个工件对准标记检测用 准直显微镜和平台／显微镜移动机构，该对准平台保持形成有对准标记的 工件，该多个工件对准标记检测用准直显微镜检测被保持在对准平台上的 工件的工件对准标记，该平台／显微镜移动机构使对准平台和工件对准标 记检测用准直显微镜在一个轴的方向相对地移动工件的宽度的量；

曝光处理部，该曝光处理部具有光罩对准标记检测用显微镜和曝光平 台，该光罩对准标记检测用显微镜检测光罩对准标记，该曝光平台保持着 在对准平台部检测出工件对准标记的位置的工件；以及，

工件移动机构，该工件移动机构将工件从对准平台部移动至曝光处理 部，

上述曝光装置的特征在于，

在上述对准平台与曝光平台设置通过嵌合将工件保持部件机械地定位 于预定位置的定位单元，

通过上述曝光处理部的光罩对准标记检测用显微镜检测光罩的光罩对 准标记，

通过上述对准平台部的工件对准标记检测用准直显微镜检测工件的工 件对准标记，

当通过上述工件移动机构将上述工件保持部件从对准平台部移动至曝 光处理部时，将上述工件保持部件通过上述定位单元定位在对准平台与曝 光平台上，

使用上述检测出的工件的工件对准标记的位置坐标与光罩对准标记的 位置坐标，在曝光处理部上进行上述光罩与搬运至曝光处理部的工件的对 位。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

在上述工件对准标记检测用准直显微镜上安装有第2移动机构，该第2 移动机构使工件对准标记检测用准直显微镜在与上述一个轴的方向正交的 方向上移动。

3.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

对应于形成在与上述一个轴的方向正交的方向上的各个工件对准标 记，分别设置一个上述工件对准标记检测用准直显微镜。