[发明专利]铁电体电容器、铁电体电容器的制造方法、铁电体存储器有效
| 申请号： | 200910211976.2 | 申请日： | 2007-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101714579A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 木岛健 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/92 | 分类号： | H01L29/92;H01L21/02;H01L27/115 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铁电体 电容器 制造 方法 存储器 | ||
1.一种铁电体电容器，其特征在于，包括：
基板，
第一电极，形成于所述基板的上方；
锆钛酸铅，设置在所述第一电极上；
铌锆钛酸铅，设置在所述锆钛酸铅上，用于降低所述锆 钛酸铅的异相；以及
第二电极，设置在所述铌锆钛酸铅上，
其中，在所述铌锆钛酸铅中，当将铌原子的数量A与锆 原子的数量、钛原子的数量以及所述铌原子的数量的总和B 的比A/B设为X时，满足0.1≤X≤0.3。
2.根据权利要求1所述的铁电体电容器，其特征在于，
所述铌锆钛酸铅还包含0.5mol％以上的Si、或Si及Ge。
3.根据权利要求1所述的铁电体电容器，其特征在于，
所述铌锆钛酸铅的厚度小于所述锆钛酸铅的厚度。
4.根据权利要求1所述的铁电体电容器，其特征在于，
所述第二电极包含氧化铱、以及设置于所述氧化铱上的 铱。
5.根据权利要求1所述的铁电体电容器，其特征在于，
所述第一电极包含铂、铱以及氧化铱中的至少一种。
6.一种铁电体电容器的制造方法，其特征在于，包括：
在基板的上方形成第一电极的工序；
在所述第一电极上形成铌锆钛酸铅的工序；
在所述锆钛酸铅上形成铌锆钛酸铅的工序；以及
在所述铌锆钛酸铅上形成第二电极的工序，
其中，在所述铌锆钛酸铅中，当将铌原子的数量A与锆 原子的数量、钛原子的数量以及所述铌原子的数量的总和B 的比A/B设为X时，满足0.1≤X≤0.3，
在所述锆钛酸铅上形成铌锆钛酸铅的工序降低所述锆钛 酸铅的异相。
7.根据权利要求6所述的铁电体电容器的制造方法，其特征在 于，
所述锆钛酸铅是通过化学蒸汽沉积法形成的。
8.根据权利要求6所述的铁电体电容器的制造方法，其特征在 于，
所述铌锆钛酸铅是通过溶胶·凝胶法形成的。
9.一种铁电体存储器，其特征在于，包含：
根据权利要求1～5中任一项所述的铁电体电容器。
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