[发明专利]用于处理基板的装置

权利要求书

1.一种处理基板的装置，包括

涂布单元，其沿水平方向传送所述基板，并且在传送所述基板的 同时，将光阻组合物提供到所述基板上以形成所述基板上的光阻层；

靠近所述涂布单元设置的烘焙单元，在所述基板沿所述水平方向 传送的同时，所述烘焙单元对所述基板进行加热以硬化所述光阻层； 及

设置在所述涂布单元与所述烘焙单元之间的传送单元，以将所述 基板从所述涂布单元传送至所述烘焙单元，所述传送单元包括：

多个沿所述水平方向设置的旋转轴，所述旋转轴沿垂直于所 述水平方向的另一水平方向延伸；

多个安装在所述旋转轴上以传送所述基板的辊子；及

使得所述旋转轴旋转的驱动部，

其中所述装置还包括沿垂直方向可移动地设在所述旋转轴之间的 缓冲单元，所述缓冲单元沿所述垂直方向移动所述基板，从而存放所 述基板。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述缓冲单元包括：

多个支撑臂，其沿所述垂直方向可移动地设在所述旋转轴之间， 所述支撑臂支撑所述基板；及

垂直驱动部，其与所述支撑臂连接以沿所述垂直方向移动支撑臂。

3.如权利要求1所述的装置，其中所述涂布单元包括：

沿所述水平方向传送所述基板的基板传送部；及

设在所述基板传送部上方的喷嘴，所述喷嘴沿垂直于所述水平方 向的另一水平方向延伸，并且在所述基板传送的同时将所述光阻组合 物提供到所述基板上。

4.如权利要求3所述的装置，其中所述基板传送部包括：

送风机，其将空气提供到所述基板的下表面上以浮起所述基板； 及

驱动部，其沿所述水平方向传送浮起的基板。

5.如权利要求4所述的装置，其中所述送风机包括具有多个孔以提供所 述空气的穿孔板。

6.如权利要求4所述的装置，其中送风机包括：

由多孔材料形成的多孔板；及

设在所述多孔板的侧表面上的侧壁。

7.如权利要求4所述的装置，其中所述驱动部包括多个真空吸盘，所述 真空吸盘使用真空压力保持所述基板的下表面的边缘部。

8.如权利要求4所述的装置，其中所述驱动部包括多个辊子，所述辊子 沿平行于所述水平方向的方向设置以支撑所述基板的下表面的边缘 部。

9.如权利要求1所述的装置，其中所述烘焙单元包括：

送风机，其将空气提供到所述基板的下表面上以浮起所述基板； 及

加热器，其在沿所述水平方向于所述送风机上方传送所述基板的 同时加热所述基板。

10.如权利要求9所述的装置，还包括分别设在所述送风机的前侧和后侧 的基板传送部，以沿所述水平方向传送所述基板。

11.如权利要求10所述的装置，其中各所述基板传送部包括：

沿垂直于所述水平方向的另一水平方向延伸的旋转轴；

多个安装在所述旋转轴上以传送所述基板的辊子；及

使得所述旋转轴旋转的驱动部。

12.如权利要求9所述的装置，其中所述送风机包括具有多个孔的穿孔板 或者由多孔材料形成的多孔板，以提供所述空气。

13.如权利要求12所述的装置，其中所述加热器设置在所述送风机之中。

14.如权利要求1所述的装置，其中所述烘焙单元包括：

多个沿所述水平方向设置的旋转轴，所述旋转轴沿垂直于所述水 平方向的另一水平方向延伸；

多个安装在所述旋转轴上以传送所述基板的辊子；

使得所述旋转轴旋转的驱动部；及

多个设在所述旋转轴之间以加热所述基板的加热器。

15.如权利要求1所述的装置，还包括设在所述涂布单元与所述烘焙单元 之间的干燥单元，以干燥形成在基板上的所述光阻层。