[发明专利]电站系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域的电站系统。

背景技术

半导体产品的制造厂区主要包括：制造厂房(FAB，Fabrication Building)、中央动力厂房(CUB，Center Utility Building)、支援厂房(SB，Supply Building)和电力供应厂房(PSB，Power Supply Building)等。

FAB是产品的制造中心，里面为无尘室，晶圆、芯片等都在FAB的无尘室里生产；CUB供应制造工艺所需要的能源和动力，例如水、空调、电以及一些化学药剂或者气体；SB对CUB提供的能源和动力进行分配和整合，并提供给FAB；FAB、CUB和SB里都有独立的电站，各电站的电力由PSB分配。SB是连接CUB和FAB的枢纽，SB电站运行的稳定性对半导体产品制造有着重要作用。

请参考图1，由于环境和条件的限制，现有的SB电站通常仅包括两套供电单元，即交流供电单元A1和直流供电单元A2；SB电站的转换单元A3将交流供电单元A1提供的380V三相交流电转换为SB的工作设备10所需的直流电。交流供电单元A1为工作设备10的主供电，直流供电单元A2为工作设备10的备用供电，当交流供电单元A1出现供电故障时，即切换直流供电单元A2向工作设备10供电。

然而，由于上述SB电站只有两套供电单元，其供电可靠性和运行稳定性并不高；而且，现有SB电站的直流供电系统也没有放电功能测试，其存在的故障隐患也较大，一旦交流供电单元断电并且直流供电单元也出现故障，SB电站就处于关闭状态，这将对SB和FAB的工作设备造成较大的影响。

为提高SB电站的可靠性的稳定性，可以增加一套交流供电单元或直流供电单元，然而，受现有SB的空间限制，增加一套交流供电单元会比较困难；并且增加一套交流供电单元或直流供电单元不仅费用成本高，而且还会增加系统预防性维护(PM---Preventive Maintenance)的工作量。

发明内容

本发明解决的问题是，提供一种电站系统，以提高供电可靠性和运行稳定性。

为解决上述问题，本发明提供一种电站系统，包括支援厂房电站和制造厂房电站，所述支援厂房电站包括第一直流供电单元，所述制造厂房电站包括第二直流供电单元，其特征在于，所述第一直流供电单元与第二直流供电单元并联。

可选的，所述第一直流供电单元为电池或电池组。

可选的，所述第二直流供电单元为电池或电池组。

可选的，所述支援厂房电站还包括：直流开关单元，将所述第一直流供电单元接入支援厂房的工作设备，或断开所述第一直流供电单元和支援厂房的工作设备的连接。

可选的，所述支援厂房电站还包括：交流供电单元和将所述交流供电单元提供的交流电转换成直流电的转换单元。

可选的，所述支援厂房电站还包括：交流开关单元，将所述交流供电单元接入支援厂房的工作设备，或断开所述交流供电单元和支援厂房的工作设备的连接。

可选的，所述支援厂房电站还包括：切换单元，切换所述交流供电单元和第一直流供电单元与支援厂房的工作设备的连接或断开。

可选的，所述切换单元在所述交流供电单元断电时，将所述第一直流供电单元接入支援厂房的工作设备。

可选的，所述切换单元在所述交流供电单元恢复供电时，将所述交流供电单元接入支援厂房的工作设备。

与现有技术相比，上述技术方案将SB电站的直流供电单元和FAB电站的直流供电单元并联，既不需要增加其他单元，也不需要改变其他单元，就可以给SB电站增加一套备用供电，因而提高了SB电站的供电可靠性和运行稳定性。

同样地，上述技术方案也给FAB电站增加了一套备用供电，因而也提高了FAB电站的供电可靠性和运行稳定性。

另外，上述技术方案相比于增加一套交流供电单元或直流供电单元来说，还具有实现简单，成本低和效率高等优点。

附图说明

图1是现有的SB电站的结构示意图；

图2是本发明实施方式的电站系统的结构示意图；

图3是本发明实施例的电站系统的结构示意图。

具体实施方式

本发明实施方式的电站系统将SB电站的直流供电单元和FAB电站的直流供电单元并联，在不增加或改变其他装置的情况下就可以提高电站的供电可靠性和运行稳定性。