[发明专利]含有芳香环的光致产酸剂有效
申请号: | 200910206329.2 | 申请日: | 2009-10-15 |
公开(公告)号: | CN101727004A | 公开(公告)日: | 2010-06-09 |
发明(设计)人: | 吴贞薰;徐东辙;申珍奉 | 申请(专利权)人: | 锦湖石油化学株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 过晓东 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含有 芳香 光致产酸剂 | ||
1.一种由下式(1)表示的产酸剂:
[式1]
其中A+表示有机反离子;
其中式(1)的阴离子部分选自下式(1-vii)-(1-xii)、(1-xiv)-(1-xviii)、 (1-xxi)-(1-xxiii)、(1-xxxv)、(1-xxxvii)、(1-xxxviii)、(1-xxxx)、 (1-xxxxi)和(1-xxxxiii)表示的基团:
2.权利要求1的产酸剂,其中A+是由下式(2A)或式(2B)表示的阳 离子:
[式2A]
[式2B]
其中R1和R2彼此独立地表示具有1-12个碳原子的烷基、烯丙基和具有2-12个 碳原子的烯基、具有1-12个碳原子的全氟烷基、苯甲基或具有5-20个碳原子 的芳基;R3、R4和R5彼此独立地表示氢原子、具有1-12个碳原子的烷基、卤 素原子、具有1-12个碳原子的烷氧基、具有5-12个碳原子的芳基、硫代苯氧 基、具有1-12个碳原子的硫代烷氧基、或具有1-6个碳原子的烷氧羰基甲氧 基。
3.权利要求1的产酸剂,其中A+是由下式(3A)或式(3B)表示的阳 离子:
[式3A]
[式3B]
其中R6和R9彼此独立地表示具有1-12个碳原子的烷基、烯丙基和具有2-12个 碳原子的烯基、具有1-12个碳原子的全氟烷基、苯甲基或具有5-20个碳原子 的芳基;并且R7和R8彼此独立地表示氢原子、具有1-12个碳原子的烷基、卤 素原子、具有1-12个碳原子的烷氧基、具有5-12个碳原子的芳基、硫代苯氧 基、具有1-12个碳原子的硫代烷氧基、或具有1-6个碳原子的烷氧羰基甲氧 基。
4.权利要求2的产酸剂,其中式(2A)和式(2B)选自下式(2-i)-(2-xx):
5.权利要求3的产酸剂,其中式(3A)和式(3B)选自下式(3-i)-(3-ix):
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