[发明专利]聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种聚合物，其包含由结构式(I)表示的结构单元：

其中，R¹代表氢原子或甲基；R²在各种情况下独立地是直链或支链C1-C6烷基；k代表0至4的整数；X代表直链或支链C1-C6亚烷基；Z代表可以具有一个以上选自直链C1-C6烷基、支链C3-C6烷基和羟基的取代基、且其中亚甲基可以被羰基取代的2-金刚烷基；

以及由结构式(II)表示的结构单元：

其中，R⁴代表氢原子或甲基；R⁵在各种情况下独立地是直链或支链C1-C6烷基；n代表0至4的整数。

2.一种抗蚀剂组合物，其包含如权利要求1所述的聚合物和产酸剂。

3.如权利要求2所述的抗蚀剂组合物，其特征在于，所述产酸剂是由结构式(V)表示的盐：

其中，A⁺代表有机反荷离子；Y¹和Y²各自独立地代表氟原子或C1-C6全氟化烷基；R¹²代表C1-C30烃基，所述烃基可以具有一个以上选自下组的取代基：C1-C6烷氧基、C1-C4全氟化烷基、C1-C6羟烷基、羟基和氰基，并且所述烃基中的一个以上-CH₂-可以被-CO-或-O-取代。