[发明专利]一种多功能抛动旋转机构有效
| 申请号： | 200910204405.6 | 申请日： | 2009-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101728240A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 耿彪 | 申请（专利权）人： | 耿彪 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 053873 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 旋转 机构 | ||
1.一种多功能抛动旋转机构，包括腐蚀槽和清洗槽，其特征在于：包括抛动机构、旋转机构、花篮架机构，所述旋转机构位于花篮架机构和抛动机构之间，所述抛动机构由传动动力部分与传动执行部分组成，二者通过隔板分隔开，所述传动动力部分包括驱动电机、主同步带轮、主同步带、双联同步带轮、双联同步带轮、传动轴(5)；所述驱动电机与主同步带轮连接，主同步带轮与双联同步带轮通过主同步带连接，双联同步带轮固定在传动轴(5)上，所述传动执行部分包括从动同步带、同步带轮，联轴器、第一旋臂、第二旋臂；所述从动同步带一端与双联同步带轮连接，另一端与同步带轮连接，所述联轴器一端与同步带轮连接，另一端与第一旋臂连接，所述第一悬臂与第二旋臂连接，所述旋转机构安装在第二旋臂上，包括电机、第二主同步带轮、第二同步带、同步带轮、主轴，所述电机与第二主同步带轮连接，所述第二同步带的一端与第二主同步带轮连接，另一端与同步带轮连接，所述同步带轮与主轴连接，所述花篮架机构由旋转轴、固定板、固定轴、支撑板、晶片花篮组成，所述固定板串接于旋转轴上，所述固定轴设置于支撑板之间，所述晶片花篮位于固定板、固定轴之间，所述抛动机构的第二旋臂(12)带动晶片花篮(54)、(74)完成槽间的抛动传递。
2.根据权利要求1所述的多功能抛动旋转机构，其特征在于：所述传动轴(5)由两个轴承座(4)支撑。
3.根据权利要求1所述的多功能抛动旋转机构，其特征在于：所述电机通过电机隔离罩(13)与外界隔离，且电机隔离罩(13)位于电机的下方；所述旋转机构的传递部分通过密封罩(73)密封，且密封罩(73)位于旋转机构的上方。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
