[发明专利]利用循环CVD或ALD制备金属氧化物薄膜

权利要求书

1.一种形成三元金属氧化物膜的循环沉积方法，其中，依次将多种前驱体 引入沉积室，使之蒸发并且在形成所述三元金属氧化物膜的条件下沉积在基底 上，其改进之处包括：

利用第一种金属酮亚胺盐作为第一前驱体；

利用含氧源；

利用第二种金属酮亚胺盐作为不同于前者的第二前驱体；和

利用含氧源，

其中一种金属酮亚胺盐选自由以下结构A所代表的组：

其中，M是第2族二价金属，其选自由钙、镁、锶和钡组成的组；其中R¹选自 由具有1-10个碳原子的烷基、氟烷基、脂环基，以及具有6-12个碳原子的 芳基组成的组；R²选自由氢、具有1-10个碳原子的烷基、烷氧基、脂环基， 以及具有6-12个碳原子的芳基组成的组；R³选自由具有1-10个碳原子的烷 基、氟烷基、脂环基，以及具有6-12个碳原子的芳基组成的组；R⁴是带有或 不带有手性碳原子的C_2-3直链或支链亚烷基桥键，由此与金属中心构成五元或 六元配位环；R^5-6独立地选自由具有1-10个碳原子的烷基、氟烷基、脂环基以 及具有6-12个碳原子的芳基组成的组，并且它们能够连接从而形成含碳、氧 或氮原子的环；

并且另外一种金属酮亚胺盐选自由以下结构B所代表的组：

其中，M是四价金属，其选自由钛、锆和铪组成的组；其中R⁷选自由具有1- 10个碳原子的烷基、氟烷基、脂环基，以及具有6-12个碳原子的芳基组成的 组；R^8-9选自由氢、具有1-10个碳原子的烷基、烷氧基、脂环基，以及具有6 -12个碳原子的芳基组成的组；R¹⁰是带有或不带有手性碳原子的C_2-3直链或支 链亚烷基桥键，由此与金属中心构成五元或六元配位环。

2.权利要求1所述的方法，其中，R¹选自由含有1-6个碳原子的烷基、氟烷基、 脂环基，以及具有6-12个碳原子的芳基组成的组；R²选自由氢、含有1-6个 碳原子的烷基、烷氧基、脂环基，以及具有6-12个碳原子的芳基组成的组； R³选自由含有1-6个碳原子的烷基、氟烷基、脂环基，以及具有6-12个碳原 子的芳基组成的组；R⁴是带有或不带有手性碳原子的C_2-3直链或支链亚烷基桥 键，由此与金属中心构成五元或六元配位环；R^5-6独立地选自由含有1-6个碳原 子的烷基、氟烷基、脂环基以及具有6-12个碳原子的芳基组成的组，并且它 们能够连接从而形成含碳、氧或氮原子的环；R⁷选自由含有1-6个碳原子的烷 基、氟烷基、脂环基，以及具有6-12个碳原子的芳基组成的组；R^8-9选自由氢、 含有1-6个碳原子的烷基、烷氧基、脂环基，以及具有6-12个碳原子的芳基 组成的组；R¹⁰是带有或不带有手性碳原子的C_2-3直链或支链亚烷基桥键，由此 与金属中心构成五元或六元配位环。

3.权利要求1所述的方法，其中，通过将金属酮亚胺盐溶解于溶剂或溶剂 混合物以制备出摩尔浓度为0.01-2M的溶液，经由直接液体输送来输送该金属 酮亚胺盐。

4.权利要求3所述的方法，其中，溶剂选自由脂肪烃、芳香烃、直链或环 状醚、酯、腈、醇、胺、聚胺、有机酰胺及其混合物组成的组。

5.权利要求4所述的方法，其中，溶剂选自由四氢呋喃(THF)、1，3，5-三 甲基苯、十二烷、N-甲基吡咯烷酮(NMP)及其混合物组成的组。

6.权利要求1所述的方法，其中，金属氧化物是钛酸锶。

7.权利要求1所述的方法，其中，循环沉积方法是循环的化学气相沉积方 法。

8.权利要求1所述的方法，其中，循环沉积方法是原子层沉积方法。