[发明专利]减反射膜、光学构件、光学系统

权利要求书

1.一种减反射膜，其特征在于，

在基板上备有包括从远离上述基板一侧依次层叠的第1至第8层的减反射层，

第1及第6层由对d线具有1.35以上1.50以下的折射率的低折射率材料构成，

第3、第5及第7层由对d线具有1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率材 料构成，

第2、第4及第8层由对d线具有在1.70以上2.50以下的范围且高于上述中间 折射率材料的折射率的高折射率材料构成。

2.如权利要求1所述的减反射膜，其特征在于，

进一步全部满足以下条件式(1)～(8)：

0.23×λ0≤N1×d1≤0.25×λ0……(1)

0.11×λ0≤N2×d2≤0.13×λ0……(2)

0.03×λ0≤N3×d3≤0.05×λ0……(3)

0.25×λ0≤N4×d4≤0.29×λ0……(4)

0.22×λ0≤N5×d5≤0.24×λ0……(5)

0.22×λ0≤N6×d6≤0.26×λ0……(6)

0.21×λ0≤N7×d7≤0.24×λ0……(7)

0.45×λ0≤N8×d8≤0.53×λ0……(8)

此处，

λ0为中心波长，

N1～N8为第1至第8层对中心波长λ0的折射率，

d1～d8为第1至第8层的物理性膜厚。

3.如权利要求1或2所述的减反射膜，其特征在于，

在上述基板和上述减反射层之间还具备缓冲层，该缓冲层具有由上述中间 折射率材料构成的单层构造、或与上述减反射层相接的层由上述中间折射率材 料构成的多层构造。

4.如权利要求3所述的减反射膜，其特征在于，

上述基板对d线的折射率为1.66以上2.2以下，

上述缓冲层包括从上述减反射层侧依次层叠的第9至第13层，

上述第9、第11及第13层由上述中间折射率材料构成，并且上述第10及第 12层由上述高折射率材料构成。

5.如权利要求3所述的减反射膜，其特征在于，

上述基板对d线的折射率为1.51以上1.72以下，

上述缓冲层包括从上述减反射层侧依次层叠的第9至第11层，

上述第9及第11层由上述中间折射率材料构成，并且上述第10层由上述高 折射率材料构成。

6.如权利要求3所述的减反射膜，其特征在于，

上述基板对d线的折射率为1.40以上1.58以下，

上述缓冲层包括从上述减反射层侧依次层叠的第9至第12层，

上述第9及第12层由上述中间折射率材料构成，上述第10层由上述高折射 率材料构成，上述第11层由上述低折射率材料构成，或者上述第9层由上述中 间折射率材料构成，上述第10及12层由上述高折射率材料构成，上述第11层由 上述低折射率材料构成，上述第12层的折射率比上述第10层的折射率低。