[发明专利]映射分析装置

权利要求书

1.一种映射分析装置，具备：

映射图像用信号检测单元，其对从排列在试样的表面上的 多个映射单位区域分别放出的映射图像用信号进行检测；

摄像单元，其连续拍摄上述试样的表面的光学观察图像；

信号插值提取电路，其从上述摄像单元的输出信号中除去 与光学信号无关的部分；

图像存储器，其保存上述映射图像用信号检测单元以及上 述信号插值提取电路的输出信号；

X-Y台，其使上述试样沿与上述表面平行的方向移动，对 排列的多个上述映射单位区域依次进行扫描；以及

同步控制电路，其与上述X-Y台的移动同步地将上述映射 图像用信号检测单元和上述信号插值提取电路的输出信号取入 到图像存储器中，

其中，获取根据上述映射图像用信号生成的映射图像的同 时获取形成比上述摄像单元的视场更广区域的上述试样的表面 的光学观察图像。

2.根据权利要求1所述的映射分析装置，其特征在于，

上述摄像单元是电视摄像机。

3.根据权利要求2所述的映射分析装置，其特征在于，

上述信号插值提取电路还具备如下功能：对上述电视摄像 机的输出信号的电平、垂直回扫时间的信号进行插值。

4.根据权利要求2或3所述的映射分析装置，其特征在于，

上述信号插值提取电路还具备如下功能：切出并取用与上 述电视摄像机的输出信号内的一部分的视场对应的部分。

5.根据权利要求2或3所述的映射分析装置，其特征在于，

上述同步控制电路使上述X-Y台的移动动作与上述电视摄 像机的帧扫描同步。

6.根据权利要求4所述的映射分析装置，其特征在于，

上述同步控制电路使上述X-Y台的移动动作与上述电视摄 像机的帧扫描同步。