[发明专利]用于线路修复的连线方法

权利要求书

1.一种用于线路修复的连线方法；其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、在需要修复的指定金属线位置的绝缘膜上方开小窗口；

步骤二、取刻蚀窗的一侧宽边固定，将长边拉长，宽边大小不变，进行深度0.1-0.5微米的刻蚀，如果刻蚀窗确定位置有金属线露出，有则停止刻蚀；无则再次固定之前的宽边，长度继续拉长后再进行深度0.1-0.5微米的刻蚀；如此循环，直到金属线外露；

步骤三、从外露金属线位置沿阶梯镀上一条长度等于连线距离的铂金，实现连线。

2.如权利要求1所述的用于线路修复的连线方法，其特征在于，步骤一中所述窗口长度方向沿金属线走向，长度值为1-3微米。

3.如权利要求1所述的用于线路修复的连线方法，其特征在于，步骤一中所述窗口宽度等于线宽+一侧线间距的一半+另一侧线间距的一半。

4.如权利要求1所述的用于线路修复的连线方法，其特征在于，步骤一中所述窗口刻蚀深度为0.3微米。

5.如权利要求1所述的用于线路修复的连线方法，其特征在于，步骤二中将长边拉长2微米。

6.如权利要求1所述的用于线路修复的连线方法，其特征在于，步骤二中，刻蚀深度为0.3微米。

7.如权利要求1所述的用于线路修复的连线方法，其特征在于，步骤三中所述铂金连线的厚度为0.5微米。