[发明专利]一种基于光子激励的光波导导波特性改善方法有效
申请号: | 200910199281.7 | 申请日: | 2009-11-24 |
公开(公告)号: | CN101762844A | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 陈抱雪;简平荣;周依群;周建忠 | 申请(专利权)人: | 上海美弗信光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B6/10 | 分类号: | G02B6/10;H04B10/12 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 翁若莹 |
地址: | 200233 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 光子 激励 波导 导波 特性 改善 方法 | ||
1.一种基于光子激励的光波导导波特性改善方法,其特征在于,由以下四个步骤按顺序共同构成:
步骤1、采用波长为248nm的紫外光辐照石英光波导,所述248nm紫外光由石英光波导的上包层的上表面垂直入射,所述248nm紫外光的辐照范围覆盖所述石英光波导的全部上表面,所述248nm紫外光的辐照剂量须达到90J/cm2以上;
步骤2、切断所述248nm紫外光的辐照,将所述石英光波导在室温中放置5分钟;
步骤3、采用波长范围覆盖280nm~400nm的紫外光和波长范围覆盖8000nm~22000nm的红外光同时辐照所述石英光波导,所述波长范围覆盖280nm~400nm的紫外光由所述石英光波导的上包层的上表面垂直入射,所述波长范围覆盖280nm~400nm的紫外光的辐照范围覆盖所述石英光波导的全部上表面,所述波长范围覆盖280nm~400nm紫外光的辐照剂量须达到180J/cm2以上,所述波长范围覆盖8000nm~22000nm的红外光由侧面辐照所述石英光波导,所述波长范围覆盖8000nm~22000nm的红外光的辐照方向与所述石英光波导上表面法线成30度角,所述波长范围覆盖8000nm~22000nm的红外光的辐照范围覆盖所述石英光波导的全部上表面,所述波长范围覆盖8000nm~22000nm的红外光的辐照剂量须达到70J/cm2以上;
步骤4、同时切断所述波长范围覆盖280nm~400nm紫外光和波长范围覆盖8000nm~22000nm的红外光的辐照,将所述石英光波导在室温中放置30分钟。
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