[发明专利]一种缺陷检测方法有效
| 申请号： | 200910198786.1 | 申请日： | 2009-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102053106A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 龚斌;郭强;章鸣 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01N27/20;G01R31/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 方法 | ||
1.一种缺陷检测方法，该方法包括：在待测导电体上设置至少两个输出端，且各输出端分别接相同电位；
预先确定各检测点在待测导电体上的位置；
在所述各检测点上输入带电粒子束；
记录所有输出端的输出电流以及相应的各检测点的位置；
计算各检测点对应的所有输出端的输出电流之和的总电流；
计算各检测点对应各输出端的输出电流与总电流的比值，定义为各输出端相对电流；
建立各输出端相对电流与对应各检测点位置之间的对应关系，该对应关系可以为：各输出端相对电流，各输出端相对电流线性组合以及上述各输出端相对电流或各输出端相对电流线性组合随检测点位置改变的变化率与对应各检测点位置的关系；
根据对应关系判定检测点是否存在缺陷。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述带电粒子束是带电电子束或带电离子束。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据对应关系判定检测点是否存在缺陷为：
当对应关系斜率不变，待测导电体上没有缺陷；
当对应关系斜率突变，跳变点之间的待测导电体上存在缺陷。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述各输出端相对电流线性组合为任意两个输出端的相对电流的差值。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待测导电体为金属连线。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述待测导电体上设置至少两个输出端是指金属连线的首末端分别接相同电位。
7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预先确定各检测点在待测导电体上的位置是指沿金属连线方向取各检测点。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待测导电体为两条金属连线。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述待测导电体上设置至少两个输出端是指两条金属连线各取一端接相同电位。
10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述预先确定各检测点在待测导电体上的位置是指沿其中一条金属连线方向取各检测点。
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