[发明专利]一种微纳米热检测传感组件

权利要求书

1.一种微纳米热检测传感组件，用于原子力显微镜热成像系统，包括：

热探针，用于加热并探测被测样品的温度；

参考探针，设置在所述热探针一侧，用于在所述热探针检测时探测环境温度；

磁性底座，设置在所述热探针底板下，以磁力吸住所述热探针的底板，对所述热探针定位；

隔离体，设置于所述磁性底座下方；

定位器，采用压板结构，将所述热探针的引线压住，对所述热探针起辅助定位作用；

输出连接体电路板，包括印刷线路板和连接器，所述印刷电路板与所述参考探针和所述热探针的输出端相连，所述连接器用于与外部检测桥路相连。

2.根据权利要求1所述的微纳米热检测传感组件，其特征在于，所述微纳米检测传感组件进一步包括：

一测试支架，用于固定所述输出连接体电路板、磁性底座、隔离体和定位器。

3.根据权利要求2所述的微纳米热检测传感组件，其特征在于，所述热探针为热阻型，呈V型结构。

4.根据权利要求3所述的微纳米热检测传感组件，其特征在于，所述热探针在周期性信号激励下产生谐波效应，选取其3倍频的高次谐波信号反映所述被测样品的微纳米尺度热导率。

5.根据权利要求4所述的微纳米热检测传感组件，其特征在于，所述热探针的工作频率为100Hz-1kHz，工作电流为10-100mA。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的微纳米热检测传感组件，其特征在于，所述磁性底座由磁性材料构成，呈L型结构，其上端面与底面成一倾角。

7.根据权利要求6所述的微纳米热检测传感组件，其特征在于，所述隔离体由绝缘材料构成。

8.根据权利要求7所述的微纳米热检测传感组件，其特征在于，所述参考探针与热探针组成双探针结构，采用差动输入方式。