[发明专利]一种太阳能级多晶硅的制造方法无效
申请号: | 200910196942.0 | 申请日: | 2009-10-13 |
公开(公告)号: | CN102040220A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 董海成;朱旭 | 申请(专利权)人: | 上海太阳能科技有限公司;内蒙古神舟硅业有限责任公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人: | 郑丹力 |
地址: | 201108 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳 能级 多晶 制造 方法 | ||
1.一种太阳能级多晶硅的制造方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
步骤1、根据精料原则选择高纯金属硅,其纯度不小于99.5%;
步骤2、将高纯金属硅进行粉碎,并均匀混入为硅质量5~10%的造渣剂;
步骤3、将混合粉末置于石英坩埚内,在铸锭炉内进行真空保温熔炼;
步骤4、缓慢下降坩埚,使硅液自下而上的缓慢降温,实现定向凝固并铸锭;
步骤5、将所得硅锭去除头尾、清洗、干燥,包装。
2.根据权利要求1所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤1中,原料的总体纯度不低于99.5%,尤其是IIIA族非金属元素含量低于1ppmwt,VA族元素含量低于50ppmwt。
3.根据权利要求1所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤2中,高纯金属硅经球磨机粉碎后,粒度达到10~20目,同样,将造渣剂粉碎到10~20目的粒度,均匀混合后装入容积为1500ml的石英坩埚内。
4.根据权利要求1或3所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤2中,所选用造渣剂为Na2O-CaO-BaO-SiO2复合造渣剂,其中各组分的纯度均为5N以上,其摩尔比为1∶1∶1∶3,添加量为金属硅原料质量的5~10%,最佳添加量为7%。
5.根据权利要求1所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤3中,混合粉末置于高纯石英坩埚内进行熔炼,炉内热场材料、保温材料均为高纯材料。
6.根据权利要求1或5所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤3中,采用电阻热熔炼炉对原料进行精炼,熔炼温度为1400~1700℃,其最佳温度为1550℃,时间为2~4小时。
7.根据权利要求6所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤3中,采用旋片式真空泵维持炉内真空度,使熔炼过程在低真空下进行,真空度为102Pa;也可在抽真空后,充入氩气或氮气对熔液进行保护。
8.根据权利要求1所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤4中,坩埚下降速度为0.2~1mm/min。
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