[发明专利]一种太阳能级多晶硅的制造方法无效

专利信息
申请号: 200910196942.0 申请日: 2009-10-13
公开(公告)号: CN102040220A 公开(公告)日: 2011-05-04
发明(设计)人: 董海成;朱旭 申请(专利权)人: 上海太阳能科技有限公司;内蒙古神舟硅业有限责任公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 上海航天局专利中心 31107 代理人: 郑丹力
地址: 201108 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳 能级 多晶 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种太阳能级多晶硅的制造方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:

步骤1、根据精料原则选择高纯金属硅,其纯度不小于99.5%;

步骤2、将高纯金属硅进行粉碎,并均匀混入为硅质量5~10%的造渣剂;

步骤3、将混合粉末置于石英坩埚内,在铸锭炉内进行真空保温熔炼;

步骤4、缓慢下降坩埚,使硅液自下而上的缓慢降温,实现定向凝固并铸锭;

步骤5、将所得硅锭去除头尾、清洗、干燥,包装。

2.根据权利要求1所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤1中,原料的总体纯度不低于99.5%,尤其是IIIA族非金属元素含量低于1ppmwt,VA族元素含量低于50ppmwt。

3.根据权利要求1所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤2中,高纯金属硅经球磨机粉碎后,粒度达到10~20目,同样,将造渣剂粉碎到10~20目的粒度,均匀混合后装入容积为1500ml的石英坩埚内。

4.根据权利要求1或3所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤2中,所选用造渣剂为Na2O-CaO-BaO-SiO2复合造渣剂,其中各组分的纯度均为5N以上,其摩尔比为1∶1∶1∶3,添加量为金属硅原料质量的5~10%,最佳添加量为7%。

5.根据权利要求1所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤3中,混合粉末置于高纯石英坩埚内进行熔炼,炉内热场材料、保温材料均为高纯材料。

6.根据权利要求1或5所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤3中,采用电阻热熔炼炉对原料进行精炼,熔炼温度为1400~1700℃,其最佳温度为1550℃,时间为2~4小时。

7.根据权利要求6所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤3中,采用旋片式真空泵维持炉内真空度,使熔炼过程在低真空下进行,真空度为102Pa;也可在抽真空后,充入氩气或氮气对熔液进行保护。

8.根据权利要求1所述的多晶硅的制造方法,其特征在于,所述的步骤4中,坩埚下降速度为0.2~1mm/min。

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