[发明专利]一种旋转靶材的贴合方法无效
| 申请号： | 200910195883.5 | 申请日： | 2009-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101705472A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 庄志杰;庄维新;贾泽夏 | 申请（专利权）人： | 上海高展金属材料有限公司;溧阳市高展光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海东创专利代理事务所(普通合伙) 31245 | 代理人： | 曹立维 |
| 地址： | 200051 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 贴合 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋转靶材的贴合方法，其特征在于该方法包括以下步骤：
(1)通过超声波分别对金属衬管外壁和单节旋转靶材内壁进行辅助处理，涂覆低熔点金属涂层；
(2)将一个或多个单节旋转靶材贴附在金属衬管外壁，调整单节旋转靶材与金属衬管的位置；
(3)对金属衬管进行加热至金属衬管外壁的涂层与单节旋转靶材内壁的涂层熔化并互相融合；
(4)停止加热，进行自然冷却，获得单体旋转靶材。
2.如权利要求1所述的贴合方法，其特征在于：所述低熔点金属是金属铟、金属铟合金或金属锡合金。
3.如权利要求1所述的贴合方法，其特征在于：步骤(1)所述涂层的厚度为0.2～3.0mm。
4.如权利要求1所述的贴合方法，其特征在于：步骤(3)的加热温度为160℃～200℃。
5.如权利要求1所述的贴合方法，其特征在于：步骤(3)的加热时间为20～250分钟。
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