[发明专利]一种有机电致发光显示器的上电极制作方法

权利要求书

1.一种有机电致发光显示器的上电极制作方法，包括如下步骤：

1)将制作完成有机发光层、载流子传输层、载流子注入层结构后的有机电致发光显示器件，放入一个真空室内；

2)再将氩气通入一个等离子枪产生等离子束，将等离子束打到一个透明导电材料制作成的陶瓷靶材上，将透明导电物质溅射出来，在显示器上沉积形成一层透明的导电薄膜，作为有机电致发光显示器的上电极；

3)等上电极达到厚度后，关闭气体和等离子枪电源。

2.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器的上电极制作方法，其特征在于，所述步骤1)中的显示器件可先蒸发一层较薄的金属膜，再用等离子束溅射透明导电薄膜制成复合膜作为上电极。

3.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器的上电极制作方法，其特征在于，所述的透明导电材料选用氧化物、氮化物或硫化物，所述步骤1)的真空室内通入对应氧气、氮气、硫化氢气体。

4.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器的上电极制作方法，其特征在于，所述等离子束溅射成膜过程中，在显示器和靶材之间加一个带偏电压的金属栅网，用于吸附带电粒子。

5.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器的上电极制作方法，其特征在于，所述上电极薄膜层的厚度范围为10nm到1000nm之间。

6.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器的上电极制作方法，其特征在于，所述等离子束溅射成膜过程中，等离子枪做往复运动，或者旋转运动，用于增大显示器所成上电极膜的面积，提高上电极膜的均匀性。

7.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器的上电极制作方法，其特征在于，所述等离子束溅射成膜过程中，透明导电材料制作成的陶瓷靶材来回转动，用于增大显示器所成上电极膜的面积，提高上电极膜的均匀性。

8.根据权利要求1所述的有机电致发光显示器的上电极制作方法，其特征在于，所述在等离子束溅射成膜过程中，显示器来回运动，或者作旋转运动，用于增大显示器所成上电极膜的面积，提高上电极膜的均匀性。

9.根据权利要求2所述的有机电致发光显示器的上电极制作方法，其特征在于，所述较薄的金属膜厚度在1nm到20nm之间。