[发明专利]外延设备气体的供应方法及装置

权利要求书

1.一种外延设备气体的供应方法，从氢气气源设备单独引出混合器氢气管路，提供混合器氢气。

2.根据权利要求1所述的外延设备气体的供应方法，其特征在于：所述单独引出的混合器氢气由气体质量流量控制器调整。

3.根据权利要求2所述的外延设备气体的供应方法，其特征在于：所述单独引出的混合器氢气与磷烷气体在混合器进行混合稀释形成第一关键气体。

4.根据权利要求2所述的外延设备气体的供应方法，其特征在于：所述单独引出的混合器氢气与硼烷气体在混合器进行混合稀释形成第二关键气体。

5.一种外延设备气体供应装置，包括氢气气源设备、混合器和与所述氢气气源设备连接的主氢气管路，其特征在于：还包括单独从氢气气源设备引出的混合器氢气管路，所述主氢气管路为除混合器以外的腔体提供氢气，所述混合器氢气管路为所述混合器提供混合器氢气。

6.根据权利要求5所述的外延设备气体供应装置，其特征在于：还包括连接在所述混合器氢气管路上控制所述混合器氢气的流量的气体质量流量控制器。

7.根据权利要求5或6所述的外延设备气体供应装置，其特征在于：所述混合器氢气管路包括直接与所述氢气气源设备连接的主混合器氢气管路及分别与主混合器氢气管路连接的第一混合器氢气管路和第二混合器氢气管路。

8.根据权利要求7所述的外延设备气体供应装置，其特征在于：所述第一混合器氢气管路中的混合器氢气与磷烷气体进行混合稀释形成第一关键气体。

9.根据权利要求7所述的外延设备气体供应装置，其特征在于：所述第二混合器氢气管路中的混合器氢气与硼烷气体混合稀释形成第二关键气体。

10.根据权利要求5或6所述的外延设备气体供应装置，其特征在于：所述混合器氢气管路包括分别直接与所述氢气气源设备连接的第一混合器氢气管路和第二混合器氢气管路，所述第一混合器氢气管路中的混合器氢气与磷烷气体进行混合稀释形成第一关键气体，所述第二混合器氢气管路中的混合器氢气与硼烷气体混合稀释形成第二关键气体。