[发明专利]抗菌性的织物及其制备方法

权利要求书

1、一种抗菌性的织物，其特征在于：所述抗菌性的织物由织物基材以及复合在织物基材表面的复合薄膜组成，所述复合薄膜的结构是TiO₂/稀土、稀土/TiO₂、TiO₂/稀土/TiO₂或稀土/TiO₂/稀土，所述稀土是Nd、La或Ce。

2、一种抗菌性的织物的制备方法，其特征在于：所述抗菌性的织物是由织物基材以及复合薄膜组成，该复合薄膜是采用磁控溅射方法直接将抗菌靶材溅射到所述织物基材表面成膜，形成抗菌性的织物，溅射前对织物基材进行了预处理，其制备过程，包括以下步骤：

步骤一、清洗和烘干

将所述织物基材放在丙酮溶液中，用超声波洗涤器洗涤20～50min，然后将洗涤后的织物基材用去离子水反复冲洗后，放入40～45℃的烘箱中烘干待用；

步骤二、等离子预处理

等离子预处理的工作气体是He，Ar，O₂或空气，预处理过程如下：将清洗烘干后的织物基材悬挂于等离子体处理室内，开启真空抽气阀，待真空度达到10Pa以下后，通入工作气体，将真空度调至10～50Pa，打开射频电源，将功率调至20～100W，处理1～5min后取出待用；

步骤三、溅射

将预处理后的织物基材置入溅射腔内的样品架上，靶材与织物基材的间距为10～200mm，采用水冷装置冷却织物基材，先将反应室抽至本底真空，然后冲入Ar气作为溅射气体；溅射工艺参数如下：

(1)采用TiO₂靶和稀土金属靶为靶材，采用间隔溅射制备复合薄膜，所述TiO₂靶纯度为90～99％，稀土金属靶包括Nd、镧La或铈Ce，

(2)溅射制备工艺条件为：溅射TiO₂靶时，溅射功率为20～100W，溅射稀土靶时，溅射功率为10～80W，溅射TiO₂靶和稀土靶时，气体流量5～30mL/min；反应压强1～5Pa；

(3)所述复合薄膜的结构是TiO₂/稀土、稀土/TiO₂、TiO₂/稀土/TiO₂或稀土/TiO₂/稀土；

(4)采用织物基材在上、靶材在下的结构，即由下向上的溅射方式；

(5)制备时，样品架以50～200r/min的速度旋转；

(6)溅射时间为1～40min。