[发明专利]一种卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是它包括：

一卷出辊(2)，该卷出辊(2)上卷绕有等解卷的带状柔性基体材料，所述的卷出辊(2)安装在真空室(1)中；

一卷绕辊(11)，该卷绕辊(11)将前述卷出辊(2)解开的柔性基体材料按照卷对卷方式进行重新卷绕成卷，所述的卷绕辊(11)安装在真空腔(22)中；

一加热腔(15)，该加热腔(15)的一端与真空室(1)相连，另一端与沉积腔(10)相连，沉积腔(10)的一端与真空腔(22)相连，加热腔(15)中安装有加热装置(5)，沉积腔(10)中安装有等离子增强化学气相沉积装置(14)；

一垂直传送导轨(3)，它位于真空室(1)中，卷出辊(2)上的柔性基体材料垂直拉出后进入与之相连的水平传送导轨(20)，水平传送导轨(20)贯穿真空室(1)和真空腔(22)之间的加热腔(15)和沉积腔(10)；

一与水平传送导轨(20)相连的设置在真空腔(22)中的用于将经过沉积后的柔性基体材料送入卷绕辊(11)中的导轨(16)；

一分别安装在真空室(1)、真空腔(22)和加热室(15)中的用于使柔性基体材料在传送过程中保持张力的第一张紧轮组(4)、第二张紧轮组(6)及和三张紧轮组(13)；

一安装在真空腔(22)中用于使进入卷绕辊(11)上的经过沉积后的柔性基体材料快速冷却的冷却辊(12)。

2.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是所述的冷却辊(12)为水冷冷却辊。

3.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是它还包括一个用于将卷出辊(2)上的柔性基体材料拉出引入卷绕辊(11)的基材导引装置。

4.根据权利要求3所述的卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是所述的基材导引装置主要由活动导引头(201)、动力驱动滑动轮(203)和基材夹持装置(204)组成，活动导引头(201)与动力驱动滑动轮(203)相连，动力驱动滑动轮(203)安装在运行轨道(202)上，基体夹持装置(204)与带动其运动的活动导引头(201)相连。

5.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是所述的导轨(16)斜置于真空腔(22)中并位于张紧轮组(13)和冷却辊(12)之间。

6.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是所述的等离子增强化学气相沉积装置(14)包括用于对基体在沉积膜时进行均匀加热的加热电极(141)、中空的功率源阴极电极外壳(142)以及等离子体发生电极(145)，所述的加热电极(141)同时也是接地阳极电极，该加热电极(141)中安装有带状加热元件(148)，中空的功率源阴极电极外壳(142)同时也是尾气排放通道，在其上连接有尾气板(144)和尾气泵(143)，以获得均匀的气体流场，等离子体发生电极(145)包括间隔排列的阳极和阴极，等离子体发生电极(145)为中空结构，在其面向柔性基体材料的一面上开有小孔，中空结构内部(149)为气流通道，上表面气孔(146)为气体流出通道，其中阴极电极与功率源相连，阳极与接地线相连。

7.根据权利要求6所述的卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是所述的等离子体发生电极(145)由外框架(101)、阳极接地电极(103)、功率源馈入电极(102)和绝缘装置(104)构成，阳极接地电极(103)的数量比阴极功率源馈入电极(102)的数量多1个，并且各电极之间距离相等。

8.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是所述的加热装置(5)为平板状加热装置，它主要由外框架(301)，加热元件夹具(302)、加热元件(303)、第一电源接入电极(304)和第二电源接入电极(305)组成，加热元件(303)与加热元件夹具(302)之间通过耐高温电绝缘器件绝缘，加热元件(303)呈平行排列形成加热平面。

9.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是真空室(1)和真空腔(22)均为由结构件及保温板组成的双层箱体，在其内壁设有带状加热板，可以对传输中的柔性基体材料加热，在真空室(1)或真空腔(22)的壁上设有真空泵接口，用于连接真空泵使腔室始终保持于工作时的低压状态。