[发明专利]龙门架型XY定位装置

权利要求书

1.一种龙门架型XY定位装置，其设有：

驱动轴；

一对电动机，其与前述驱动轴的两端连结；以及

单一的线性编码器，其设置在前述驱动轴上，

该龙门架型XY定位装置构成为，向前述一对电动机分配所述 单一的线性编码器信号，

其特征在于，

在前述一对电动机的控制中，进行根据2阶阿达玛矩阵而分解 为累加模式和差动模式的假想模式控制，由此，对累加轴构成位置伺 服器，同时，对差动轴构成用于抑制偏差量的位置调节器，从而进行 2轴同步控制，

此时，将所述单一的线性编码器的信号视为累加模式的线性编 码器信号，根据轴扭转角和负载的加速度而构成累加模式专用的负载 侧扰动观测器，将利用前述累加模式专用的负载侧扰动观测器推定的 负载侧扰动，通过从负载侧扰动至位置指令值的逆系统反馈至累加模 式侧，

另一方面，在差动模式中不构成负载侧扰动观测器的控制系统。